RS-1使用說明書.pdf - 第783页
第 2 部 功能详 解篇 第 8 章 机器设置 8- 65 8-4- 7 单元 2 可进行 M TS 托盘控制。 选择 [ 托盘控制 ] 的 [ 速度 ] ，按 下 [ 扩展 ] 按钮，可按 选择的速度拉出托盘 。 (1) 托盘段数 指定控制托盘的层数 。 (2) 速度 指定托盘拉出时的速 度。 (3) 扩展 拉出托盘。
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置
8-64
8-4-6 单元 1
可对ATC（滑板）、支撑台、安全盖锁定、LNC LED、传送挡块、传送、AWC进行控制。
(1) ATC 的滑板
可进行各 ATC 的滑板「OPEN / CLOSE」控制。
(2) 支撑台
可进行支撑台的「UP / DOWN」控制。
(3) 安全盖锁定
可执行前/后的「安全盖锁定 ON/OFF」。
(4) LNC LED
可以进行 LNC LED 的「ON / OFF」。
(5) 传送挡块
可执行传送挡块的「ON/OFF」。
(6) 传送控制
按下 [基板幅调整] 按钮，即显示基板宽度调整画面。
按下 [传送控制] 按钮时，即显示基板传送主画面。
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置
8-65
8-4-7 单元 2
可进行MTS托盘控制。
选择 [托盘控制] 的 [速度]，按下 [扩展] 按钮，可按选择的速度拉出托盘。
(1) 托盘段数
指定控制托盘的层数。
(2) 速度
指定托盘拉出时的速度。
(3) 扩展
拉出托盘。
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-1
第
9
章
手动控制
9-1 概要
手动控制，是指为确认各部位的运行，或检查传感器 ON/OFF（开，关）的项目。
使用的主要功能有：基板的准备(请参见「2-7-1 基板的设置」)，Head 的移动，激光的确认等。
还可检查 LED 是否发生故障(一边使其点亮、灭灯，一边进行检查)。
主菜单
子菜单
内容
1 Head
1 Head 控制
以各
Head
为基准的
XY
轴移动控制，坐标显示。
各 Head 的 Z，θ，ZA 轴移动控制，坐标显示
各
Head
的真空控制，吹气控制，压力值显示
2 Head 设备控制
以各
Head
装置
(OCC
，坏板标记传感器，
HMS)
为基准的 XY 轴移动控制，坐标显示
各
Head
装置的控制，传感器状态显示
3 激光／传感器控制
各
Head
的真空控制，真空开／关显示
各 Head 的 Z 轴移动控制，坐标显示
算法切换，结果显示，
图像显示边缘检查，边缘检查显示
2 传送系 1 传送控制
基板传送，自动调整基板宽度，传送马达控制，
支撑台控制，信号的状态显示
3 供应设备
1
电动送料器
返回原点，正转（反转）
1 间距传送，任意量传送，
正转（反转）步进动作，属性设定，切割控制
2
MTS
控制
托盘控制，状态显示
3
MTC
控制
托盘控制，状态显示
4
其他
1
ATC
控制
ATC
滑板控制，传感器状态显示，吸嘴吸取控制
2
信号灯控制
信号灯控制，警报器控制，状态显示
3
其他控制
LED
控制，真空控制，状态显示，真空泵控制
4
其它传感器
气压降低传感器等的状态显示
5
驱动器状况
X
，
Y
，
Z
，
θ
轴驱动器的状态显示
6
伺服状态
伺服状态显示
7
元件验证控制
探针控制，元件计测，状态显示
8
切割控制
切割控制
9
VCS
控制
VCS
控制