KE2010取扱説明書Ver.2.01和文Rev.08.pdf - 第375页
6 - 40 ３０ 部品残り ７４ No. ２ヘッドが異常 ３５ BGA ホルダエラー ７５ オーバーランエラー（ｼｬﾄﾙ＋ﾘﾐｯﾄ） ７８ Y ホルダーエラー 141 サーボドライバー ON 不能（ Z 軸） ７９ イニシャライズ未完了 145 ソフトリミット（シャトル） ８０ 本体非常停止 151 サーボアラーム ８１ オーバーランエラー（ Z 軸−リミット） 165 バルブ動作不良 ８２ オーバー ランエラー（ X 軸…
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８２
左右両方のウィンドウウェッジが塞がれた
エラーを検出しました
２０７
チップ立ち
９０
角度計算中にエラーが発生しました
２０８
異部品
９１
角度計算中にエラーが発生しました
２０９
部品方向異常
９２
角度計算中にエラーが発生しました
２１０
フィーダピッチずれ
③ 部品
値
エラー表示内容
値
エラー表示内容
１
チップ立ち
１７
搭載確認エラー
２
部品落下
３
ベリファイエラー
３３
ＬＬＬ
コリニアリティ
７
未搭載
３４
ＬＬＬ
コプラナリティ
８
異部品エラー
３５
ＬＬＬ
リード数
９
部品吸着ミス
３６
ＬＬＬ
吸着位置
１０
ボール検査
１６
部品廃棄異常
④ 供給装置
値
エラー表示内容
値
エラー表示内容
１
部品切れ
⑤ MTC
値 エラー表示内容 値 エラー表示内容
１ コマンドエラー ３６ 搬送路上基板検出
２ パラメータエラー ４０ シャトル搬送中に吸着完了受信
３ 部品切れ ４４ ヘッドの No.１ 真空センサ異常
４ READY タイムアウト ４５ シャトルの No.１ 真空センサ異常
５ ETX タイムアウト ４６ 自動基板幅調整原点未検出
６ 同期文字タイムアウト ４８ ティーチングスポット点灯せず
７ レスポンスタイムアウト ４９ MS パラメータが未入力
８ データエラー ５４ ヘッドの No.２ 真空センサ異常
９ 無効なレスポンス受信 ５５ シャトルの No.２ 真空センサ異常
１０ オフライン時に動作命令 ５６ 自動基板幅調整脱調検出
１３ トレイスタッカが非ロック状態 ６１ ホームポジションエラー（Z 軸）
１４ 吸着エラー（ヘッド） ６２ ホームポジションエラー（X 軸）
１５ 吸着エラー（シャトル） ６３ ホームポジションエラー（Y 軸）
１６ 部品回収不可 ６４ No.１ヘッドが異常
１８ トレイを検出しなかった ６５ シャトルエラー
１９ カバーオープン ６８ シャッタクローズエラー
２４ 搬送エラー（ヘッド） ６９ シャッタオープンエラー
２５ 搬送エラー（シャトル） ７０ 非常停止
２６ サプライ状態 ７１ オーバーランエラー（Z 軸＋リミット）
２８ トレイスタッカ無し ７２ オーバーランエラー（X 軸＋リミット）
２９ ドアオープン ７３ オーバーランエラー（Y 軸＋リミット）
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３０ 部品残り ７４ No.２ヘッドが異常
３５ BGA ホルダエラー ７５ オーバーランエラー（ｼｬﾄﾙ＋ﾘﾐｯﾄ）
７８ Yホルダーエラー 141 サーボドライバーON 不能（Z 軸）
７９ イニシャライズ未完了 145 ソフトリミット（シャトル）
８０ 本体非常停止 151 サーボアラーム
８１ オーバーランエラー（Z 軸−リミット） 165 バルブ動作不良
８２ オーバーランエラー（X 軸−リミット） 171 引出要求取消
８３ オーバーランエラー（Y 軸−リミット） 182 オフライン状態遷移
８４ No.１ヘッドセンサーエラー 183 サプライ状態遷移
８５ オーバーランエラー（ｼｬﾄﾙ−ﾘﾐｯﾄ） 184 MTC 非常停止押下
８６ インターロック異常 185 リトライアウト
９１ 移動不能（Z 軸） 186 部品切れ
９２ 移動不能（X 軸） 187 サプライ中
９３ 移動不能（Y 軸） 203 MTC 通信エラー（データエラー）
９４ No.２ヘッドセンサーエラー 204 MTC 通信エラー（通信エラー）
９５ 移動不能（シャトル） 205 MTC 通信エラー（手順エラー）
９９ ドア、カバー SW エラー 206 MTC 通信エラー（同期エラー）
100 オーバランエラー 207 MTC 通信エラー（電源断エラー）
101 Z 軸系センサエラー 208 トレイデータ段番号指定不正
102 X 軸系センサエラー 209 MTC セットアップ未使用設定
103 Y 軸系センサエラー 210 STX ETX 無
107 RAM エラー 211 未定義コマンドコード指定
108 ブレーキ電流異常 212 引出要求多重送信（ウェイト）
109 ホルダーセンサーエラー（Y 軸） 213 引出要求多重送信（キック）
110 モーター OFF 214 引出要求の異常動作
111 ソフトリミット（Z 軸） 215 レスポンスタイムアウト
112 ソフトリミット（X 軸） 218 イニシャライズ未完
113 ソフトリミット（Y 軸） 219 オフラインの為、送信不可
115 シャトル系センサエラー 220 エラーダウンの為、動作不可
117 NV−RAM エラー 221 IPC ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ ｵｰﾌﾟﾝｴﾗｰ（MTC−１）
118 クローズ・オープンセンサエラー 222 IPC ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ ｵｰﾌﾟﾝｴﾗｰ（MTC−２）
122 ドライバアラーム（Z 軸） 223 IPC ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ ｵｰﾌﾟﾝｴﾗｰ（MTS−１）
123 ドライバアラーム（X 軸） 224 IPC ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ ｵｰﾌﾟﾝｴﾗｰ（MTS−２）
125 ドライバアラーム（Y 軸） 225 IPC ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ ｵｰﾌﾟﾝｴﾗｰ（DTS−１）
128 トレイエラー 226 IPC ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ ｵｰﾌﾟﾝｴﾗｰ（DTS−２）
135 シャトルパットチェンジエラー 231 IPC ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ ｸﾛｰｽﾞｴﾗｰ（MTC−１）
232 IPC ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ ｸﾛｰｽﾞｴﾗｰ（MTC−２） 301 動作エラー
233 IPC ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ ｸﾛｰｽﾞｴﾗｰ（MTS−１） 302 リトライオーバー
234 IPC ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ ｸﾛｰｽﾞｴﾗｰ（MTS−２） 303 部品切れ
235 IPC ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ ｸﾛｰｽﾞｴﾗｰ（DTS−１） 304 オフライン
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236 IPC ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ ｸﾛｰｽﾞｴﾗｰ（DTS−２） 305 サプライ
241 IPC 送信エラー（MTC−１） 306 吸着ミス
242 IPC 受信エラー（MTC−１） 402 タイムアウト（READY 待ち監視 10 秒）
243 IPC 送信エラー（MTC−２） 403 タイムアウト（同期文字監視 4秒）
244 IPC 受信エラー（MTC−２） 404 タイムアウト（ETX 監視 3秒）
245 IPC 送信エラー（MTS−１） 405 MTC 電源 OFF
246 IPC 受信エラー（MTS−１） 406 タイムアウト（レスポンス無監視 60 秒）
247 IPC 送信エラー（MTS−２） 407 受信データ妥当性エラー
248 IPC 受信エラー（MTS−２） 408 リングバッファアクセスエラー
249 IPC 送信エラー（DTS−１） 409 タイムアウト（データリンク解放 １）
250 IPC 受信エラー（DTS−１） 410 タイムアウト（データリンク解放 ２）
251 IPC 送信エラー（DTS−２） 411 MTC 通信初期化失敗
252 IPC 受信エラー（DTS−２）
⑥ 設定
値
エラー表示内容
値
エラー表示内容
１
未使用オプション
値 エラー表示内容 値 エラー表示内容
１ コマンドエラー １８
トレイを検出しなかった
２ パラメータエラー ２０
本体カバーオープン
４ READY タイムアウト ２６
サプライ状態
５ ETX タイムアウト ２８
トレイスタッカ無し
６ 同期文字タイムアウト ２９
ドアオープン
７ レスポンスタイムアウト ３０
吸着完了未受信
８ データエラー ４０
トレイ搬送中に吸着完了受信
９ 無効なレスポンス受信 ４９
MS パラメータが未入力
１０
オフライン時に動作命令 ５２
ノーマルモード時スタッカ切替要求
１３
トレイスタッカが非ロック状態 ６１
ホームポジションエラー（Z 軸）
６３
ホームポジションエラー（Y 軸） 133 部品浮きセンサを検出
６８
シャッタクローズエラー 138 スタッカクランプエラー
６９
シャッタオープンエラー 141 サーボドライバーON 不能（Z 軸）
７０
非常停止 151 サーブアラーム
７１
オーバーランエラー（Z 軸＋リミット）
161 テストモード動作タイムアウト
７３
オーバーランエラー（Y 軸＋リミット）
171 引出要求取消
７８
Y ホルダーエラー 182 オフライン状態遷移
７９
イニシャライズ未完了 183 サプライ状態遷移
８０
本体非常停止 184 MTS 非常停止押下
８１
オーバーランエラー（Z 軸―リミット）
185 リトライアウト
８３
オーバーランエラー（Y 軸―リミット）
186 部品切れ