KE2010取扱説明書Ver.2.01和文Rev.08.pdf - 第550页
8 - 29 ■ 基板ステーション間移動時の状態説明 ◇ 基板ロード（穴基準、外形基準）は実行前のステーション状態によって動作が異なります。 そこで 、基板ロード（穴基準、外形基準）実行時の、ステーション状態の違いによる動作の変化 を以下に示します。 KE-2030 以外の機種では設定できません。 基板ｽﾃｰｼｮﾝ 間移動制御 制御位置 ① 実行前のｽﾃｰｼｮﾝ 状態 （入口ｽﾃｰｼｮﾝ ／出口ｽﾃｰｼｮﾝ） ② 搬出動作 ③ …
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）
基板再クランプ
位置決め方式で指定された方式により搬送路上にある基板を再度クランプします。
制御項目の“基板再クランプ”がチェックされているときに＜実行（
E
）＞ボタンを選択する
かまたは、
F3
キーを押して制御します。
6)
基板
ＷＡＩＴ／ＯＵＴ
センサチェック
インバッファのインセンサとウェイトセンサの間にある基板をウェイトセンサがＯＮする位
置まで移動します。
また、アウトバッファのアウトセンサにかからない基板をアウトセンサがＯＮする位置まで移
動します。
制御項目の“基板 ＷＡＩＴ／ＯＵＴ センサチェック”がチェックされているときに＜実
行（E
）＞ボタンを選択するかまたは、F3 キーを押して制御します。
７) 基板移動クランプ
入口ステーション上にある基板を出口ステーションさせて出口ステーションに位置決め方式
で指定された方式によりクランプします。
制御項目の“基板移動クランプ”がチェックされているときに＜実行（E
）＞ボタンを選択す
るかまたは、F3 キーを押して制御します。
注）KE-2030 以外の機種では設定できません。
(6)状態表示
・動作、各センサ、各信号、各ユニットの状態を連続表示します。
注意
注意注意
注意 :
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■
基板ステーション間移動時の状態説明
◇ 基板ロード（穴基準、外形基準）は実行前のステーション状態によって動作が異なります。
そこで、基板ロード（穴基準、外形基準）実行時の、ステーション状態の違いによる動作の変化
を以下に示します。
KE-2030 以外の機種では設定できません。
基板ｽﾃｰｼｮﾝ
間移動制御
制御位置
①
実行前のｽﾃｰｼｮﾝ
状態（入口ｽﾃｰｼｮﾝ
／出口ｽﾃｰｼｮﾝ）
②
搬出動作
③
基板ｽﾃｰ
ｼｮﾝ間移
動
④
搬入動作
備考
１（無／無） なし Ｃ（両ｽﾃｰｼｮﾝ）
動作 無し 両ｽﾃｰｼｮﾝ
２（有／無） Ⅰ（入口ｽﾃｰｼｮﾝ）
移動なし
Ｃ（両ｽﾃｰｼｮﾝ）
３（無／有） Ⅱ（出口ｽﾃｰｼｮﾝ）
Ｃ（両ｽﾃｰｼｮﾝ）
４（有／有） Ⅲ（両ｽﾃｰｼｮﾝ） Ｃ（両ｽﾃｰｼｮﾝ）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
１（無／無） なし Ａ（入口ｽﾃｰｼｮﾝ）
２（有／無） Ⅰ（入口ｽﾃｰｼｮﾝ）
Ａ（入口ｽﾃｰｼｮﾝ）
３（無／有） なし Ａ（入口ｽﾃｰｼｮﾝ）
(注３)
４（有／有） Ⅲ（両ｽﾃｰｼｮﾝ） Ａ（入口ｽﾃｰｼｮﾝ）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ
１（無／無） なし Ｂ（出口ｽﾃｰｼｮﾝ）
２（有／無） Ⅰ（入口ｽﾃｰｼｮﾝ）
Ｂ（出口ｽﾃｰｼｮﾝ）
３（無／有） Ⅱ（出口ｽﾃｰｼｮﾝ）
Ｂ（出口ｽﾃｰｼｮﾝ）
４（有／有） Ⅲ（両ｽﾃｰｼｮﾝ） Ｂ（出口ｽﾃｰｼｮﾝ）
１（無／無） なし 移動なし
Ａ（入口ｽﾃｰｼｮﾝ）
(注４)
動作 有り 両ｽﾃｰｼｮﾝ
２（有／無） なし 移動 Ａ（入口ｽﾃｰｼｮﾝ）
(注１)
３（無／有） Ⅱ（出口ｽﾃｰｼｮﾝ）
移動なし
Ａ（入口ｽﾃｰｼｮﾝ）
４（有／有） Ⅱ（出口ｽﾃｰｼｮﾝ）
移動 Ａ（入口ｽﾃｰｼｮﾝ）
(注２)
１（無／無） なし 移動なし
Ａ（入口ｽﾃｰｼｮﾝ）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
２（有／無） なし 移動 Ａ（入口ｽﾃｰｼｮﾝ）
(注１)
３（無／有） なし 移動なし
Ａ（入口ｽﾃｰｼｮﾝ）
(注３)
４（有／有） Ⅱ（出口ｽﾃｰｼｮﾝ）
移動 Ａ（入口ｽﾃｰｼｮﾝ）
(注２)
１（無／無） なし 移動なし
Ｂ（出口ｽﾃｰｼｮﾝ）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ
２（有／無） なし 移動 なし
３（無／有） Ⅱ（出口ｽﾃｰｼｮﾝ）
移動なし
Ｂ（出口ｽﾃｰｼｮﾝ）
４（有／有） Ⅱ（出口ｽﾃｰｼｮﾝ）
移動 なし
有：基板がある状態
無：基板がない状態
１∼４：①実行前のｽﾃｰｼｮﾝ状態（次項参照）
Ⅰ∼Ⅲ：②搬出動作（次項参照）
Ａ∼Ｃ：④搬入動作（次項参照）
（注１）入口ステーションの基板が出口ｽﾃｰｼｮﾝに移動する動作（③ 次項参照）と入口ステーション
に基板が搬入される動作（④−Ａ 次項参照）は同時に実行されます。
（注２）全て同時に実行されます。
（注３）出口ｽﾃｰｼｮﾝ側の基板の搬出動作は行われません。
（注４）出口ｽﾃｰｼｮﾝ側の基板の搬入動作は行われません。
注意
注意注意
注意 :
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① 実行前のステーションの状態（左−＞右搬送の場合）には以下の４つが考えられます。
１．入口、出口ｽﾃｰｼｮﾝ、ともに基板がない状態 ２．入口ｽﾃｰｼｮﾝに基板が搬入されている状態
入口ｽﾃｰｼｮﾝ 出口ｽﾃｰｼｮﾝ
入口ｽﾃｰｼｮﾝ 出口ｽﾃｰｼｮﾝ
①
３． 出口ｽﾃｰｼｮﾝに基板が搬入されている状態 ４．入口、出口ｽﾃｰｼｮﾝ、ともに基板が搬入されている状態
入口ｽﾃｰｼｮﾝ 出口ｽﾃｰｼｮﾝ
①
入口ｽﾃｰｼｮﾝ 出口ｽﾃｰｼｮﾝ
② ①
② 搬出動作（左−＞右搬送の場合）には以下の３つが考えられます。
Ⅰ．入口ｽﾃｰｼｮﾝから基板を搬出 Ⅱ．出口ｽﾃｰｼｮﾝから基板を搬出
入口ｽﾃｰｼｮﾝ 出口ｽﾃｰｼｮﾝ
①
入口ｽﾃｰｼｮﾝ 出口ｽﾃｰｼｮﾝ
①
Ⅲ． 両ｽﾃｰｼｮﾝから基板を搬出
入口ｽﾃｰｼｮﾝ 出口ｽﾃｰｼｮﾝ
② ①
③ 基板ステーション間移動（左−＞右搬送の場合）とは以下のことです。
入口ｽﾃｰｼｮﾝ 出口ｽﾃｰｼｮﾝ
① ①
④ 搬入動作（左−＞右搬送の場合）には以下の３つが考えられます。
Ａ．入口ｽﾃｰｼｮﾝに基板を搬入 Ｂ．出口ｽﾃｰｼｮﾝに基板を搬入
入口ｽﾃｰｼｮﾝ 出口ｽﾃｰｼｮﾝ
①
入口ｽﾃｰｼｮﾝ 出口ｽﾃｰｼｮﾝ
①
入口ｽﾃｰｼｮﾝ 出口ｽﾃｰｼｮﾝ
② ①
入口ｽﾃｰｼｮﾝから出口ｽﾃｰｼｮﾝに移動