KE2010取扱説明書Ver.2.01和文Rev.08.pdf - 第478页
7 - 4 「マルチステーションライン」、「基板搬送」、「バキュームテーブル」、「シグナルライト」 「マルチステーションライン」、「基板搬送」、「バキュームテーブル」、「シグナルライト」 「マルチステーションライン」、「基板搬送」、「バキュームテーブル」、「シグナルライト」 「マルチステーションライン」、「基板搬送」、「バキュームテーブル」、「シグナルライト」 の現在設定状況 の現在設定状況 の現在設定状況 の現在設定状況 図 図 図 …
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「オプション使用ユニット」、「使用ユニット（機能）」、「
「オプション使用ユニット」、「使用ユニット（機能）」、「「オプション使用ユニット」、「使用ユニット（機能）」、「
「オプション使用ユニット」、「使用ユニット（機能）」、「
VCS
使用ユニット」の現在設定状況
使用ユニット」の現在設定状況使用ユニット」の現在設定状況
使用ユニット」の現在設定状況
図
図図
図
7-1-1-3
マシンセットアップ初期画面３
マシンセットアップ初期画面３マシンセットアップ初期画面３
マシンセットアップ初期画面３
「
「「
「
MTC/MTS
使用ユニット」、「マルチステーションライン」、「基板搬送」の現在設定状況
使用ユニット」、「マルチステーションライン」、「基板搬送」の現在設定状況使用ユニット」、「マルチステーションライン」、「基板搬送」の現在設定状況
使用ユニット」、「マルチステーションライン」、「基板搬送」の現在設定状況
図
図図
図
7-1-1-4
マシンセットアップ初期画面４
マシンセットアップ初期画面４マシンセットアップ初期画面４
マシンセットアップ初期画面４
7 - 4
「マルチステーションライン」、「基板搬送」、「バキュームテーブル」、「シグナルライト」
「マルチステーションライン」、「基板搬送」、「バキュームテーブル」、「シグナルライト」「マルチステーションライン」、「基板搬送」、「バキュームテーブル」、「シグナルライト」
「マルチステーションライン」、「基板搬送」、「バキュームテーブル」、「シグナルライト」
の現在設定状況
の現在設定状況の現在設定状況
の現在設定状況
図
図図
図
8-1-1-5
マシンセットアップ初期画面５
マシンセットアップ初期画面５マシンセットアップ初期画面５
マシンセットアップ初期画面５
●
各項目の設定変更は、メニューバーの［設定グル−プ］を呼び出して行います。
●［設定グループ］で項目を選択し、戻ってきた場合に画面は再表示されます。
「シグナルライト」「コプラナリティ」の現在設定状況
「シグナルライト」「コプラナリティ」の現在設定状況「シグナルライト」「コプラナリティ」の現在設定状況
「シグナルライト」「コプラナリティ」の現在設定状況
図
図図
図
8-1-1-6
マシンセットアップ初期画面６
マシンセットアップ初期画面６マシンセットアップ初期画面６
マシンセットアップ初期画面６
7 - 5
7-2.
メニュー
メニューメニュー
メニュー
7-2-1.
ファイル
ファイルファイル
ファイル
基本的な操作は、「
3-6
ファイル操作」「
4-2
ファイル」を参照して下さい。
7-2-1-1.
登録済みノズル一覧
登録済みノズル一覧登録済みノズル一覧
登録済みノズル一覧
メニューバーの［ファイル］から［登録済みノズル一覧］を選択すると登録済みノズル番号一覧ダ
イアログ（図
7-2-1-1-2
）を表示します。
◇
左側のリストボックスには、現在登録されているノズル情報のノズル番号一覧が表示されます。
特注ノズル未登録の場合には、標準ノズル（５００∼５０８、５１０∼５１７）のみが表示さ
れます。
◇
ノズル番号一覧に表示されているノズル番号のデータが右側のノズル情報に表示されます。
選択ノズル番号を変えると同時に対応するノズル情報が表示されます。（図
7-2-1-1-2
）
表示は左半分が「設計値情報」、右半分が「メカパラ情報」であり、それぞれノズル情報読み
出しでの（ＦＤ以外からも読めるようになりましたので）のファイル形式（ＮＺＬ＊．ＩＮＩ）
におけるエントリー名と完全に対応しています。
図
図図
図
7-2-1-1-1
登録済みノズル一覧メニュー
登録済みノズル一覧メニュー登録済みノズル一覧メニュー
登録済みノズル一覧メニュー（表示例．
（表示例．（表示例．
（表示例．
KE-2020
）
））
）
ノズル情報ウィンドウ
ノズル情報ウィンドウノズル情報ウィンドウ
ノズル情報ウィンドウ
図
図図
図
7-2-1-1-2
登録済みノズル番号一
登録済みノズル番号一登録済みノズル番号一
登録済みノズル番号一覧ダイアログ
覧ダイアログ覧ダイアログ
覧ダイアログ