KE2010取扱説明書Ver.2.01和文Rev.08.pdf - 第807页
102 E316107 E316107 E316107 E316107： ： ： ： データを取得できません。 データを取得できません。 データを取得できません。 データを取得できません。 [原因] 測定範囲（±４０㎜）外のためＨＭＳによるＺ軸座標が取得できません。 [対処] ＨＭＳの測定位置（ＸＹ座標）が正しいか確認して下さい。 E316301 E316301 E316301 E316301： ： ： ： ＭＴＣの電源が投入されていま…
101
E316051
E316051E316051
E316051：
：：
：
Ｚ軸座標がリミットを越えました。
Ｚ軸座標がリミットを越えました。Ｚ軸座標がリミットを越えました。
Ｚ軸座標がリミットを越えました。
[原因] Z 軸座標がリミットを越えました。それ以上の移動はできません。
[対処] リミットの範囲内で移動して下さい。
E316101
E316101E316101
E316101：
：：
：
レー
レーレー
レーザパラメータ設定でエラーが発生しました。
ザパラメータ設定でエラーが発生しました。ザパラメータ設定でエラーが発生しました。
ザパラメータ設定でエラーが発生しました。￨
￨￨
￨ｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞ:%ld
:%ld:%ld
:%ld
[原因] レーザのパラメータ設定で異常が発生しました。
?: エラーコード
-1: 通信エラーが発生しました。
[対処] マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
E316102
E316102E316102
E316102：
：：
：
レーザ計測（
レーザ計測（レーザ計測（
レーザ計測（ONCE
ONCEONCE
ONCE）でエラーが発生しました。
）でエラーが発生しました。）でエラーが発生しました。
）でエラーが発生しました。￨
￨￨
￨ｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞ:%ld
:%ld:%ld
:%ld
[原因] レーザによる計測（ONCE）でエラーが発生しました。
?: エラーコード
-1: 通信エラーが発生しました。
その他: マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
[対処] マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
E316103
E316103E316103
E316103：
：：
：
レーザ計測（
レーザ計測（レーザ計測（
レーザ計測（SWEEP
SWEEPSWEEP
SWEEP）でエラーが発生しました。
）でエラーが発生しました。）でエラーが発生しました。
）でエラーが発生しました。￨
￨￨
￨ｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞ:%ld
:%ld:%ld
:%ld
[原因] レーザによる計測（SWEEP）でエラーが発生しました。
?: エラーコード
-1: 通信エラーが発生しました。
-2: 軸エラーが発生しました。
その他: マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
[対処] マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
E316104
E316104E316104
E316104：
：：
：
ノズル有無チェックでエラーが発生しました。
ノズル有無チェックでエラーが発生しました。ノズル有無チェックでエラーが発生しました。
ノズル有無チェックでエラーが発生しました。￨
￨￨
￨ｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞ:%ld
:%ld:%ld
:%ld
[原因] レーザによる計測（ONCE）でエラーが発生しました。
?: エラーコード
-1: 通信エラーが発生しました。
[対処] マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
E316105
E316105E316105
E316105：
：：
：
イメージデータ取得でエラーが発生しました。
イメージデータ取得でエラーが発生しました。イメージデータ取得でエラーが発生しました。
イメージデータ取得でエラーが発生しました。￨
￨￨
￨ｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞ:%ld
:%ld:%ld
:%ld
[原因] レーザによるイメージデータ取得でエラーが発生しました。
?: エラーコード
-1: 通信エラーが発生しました。
その他: マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
[対処] マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
E316106
E316106E316106
E316106：
：：
：
エッジチェックデータ取得でエラーが発生しました。
エッジチェックデータ取得でエラーが発生しました。エッジチェックデータ取得でエラーが発生しました。
エッジチェックデータ取得でエラーが発生しました。￨
￨￨
￨ｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞ:%ld
:%ld:%ld
:%ld
[原因] レーザによるエッジチェック取得でエラーが発生しました。
?: エラーコード
-1: 通信エラーが発生しました。
その他: マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
[対処] マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
102
E316107
E316107E316107
E316107：
：：
：
データを取得できません。
データを取得できません。データを取得できません。
データを取得できません。
[原因] 測定範囲（±４０㎜）外のためＨＭＳによるＺ軸座標が取得できません。
[対処] ＨＭＳの測定位置（ＸＹ座標）が正しいか確認して下さい。
E316301
E316301E316301
E316301：
：：
：
ＭＴＣの電源が投入されていません。
ＭＴＣの電源が投入されていません。ＭＴＣの電源が投入されていません。
ＭＴＣの電源が投入されていません。
[原因] MTC の電源が投入されていません。
[対処] MTC の電源を投入してから，オンライン状態にして下さい。
E316302
E316302E316302
E316302：
：：
：
ＭＴＣがオンラインになっていません。
ＭＴＣがオンラインになっていません。ＭＴＣがオンラインになっていません。
ＭＴＣがオンラインになっていません。
[原因] MTC がオンライン状態になっていません。
[対処] MTC をオンライン状態にして下さい。
E316303
E316303E316303
E316303：
：：
：
ＭＴＣがサプライ状態です。
ＭＴＣがサプライ状態です。ＭＴＣがサプライ状態です。
ＭＴＣがサプライ状態です。
[原因] MTC がサプライ（部品交換）状態のため制御できません。
[対処] MTC を通常状態にして下さい。
E316401
E316401E316401
E316401：
：：
：
ＭＴＳの電源が投入されていません。
ＭＴＳの電源が投入されていません。ＭＴＳの電源が投入されていません。
ＭＴＳの電源が投入されていません。
[原因] MTS のトレイを引出そうとしましたが，MTS の電源が投入されていませんでした。
[対処] MTS の電源を投入して下さい。
E316402
E316402E316402
E316402：
：：
：
ＭＴＳがオンラインになっていません。
ＭＴＳがオンラインになっていません。ＭＴＳがオンラインになっていません。
ＭＴＳがオンラインになっていません。
[原因] MTS のトレイを引出そうとしましたが，MTS がオンライン状態になっていませんでした。
[対処] MTS をオンライン状態にして下さい。
E316403
E316403E316403
E316403：
：：
：
本体カバーオープン時にＭＴＳは，動作しません。
本体カバーオープン時にＭＴＳは，動作しません。本体カバーオープン時にＭＴＳは，動作しません。
本体カバーオープン時にＭＴＳは，動作しません。
[原因] MTS のトレイを引出そうとしましたが，本体のカバーが開いていました。
[対処] 本体のカバーを閉じて下さい。
E316404
E316404E316404
E316404：
：：
：
ＭＴＳのドアが開いています。
ＭＴＳのドアが開いています。ＭＴＳのドアが開いています。
ＭＴＳのドアが開いています。
[原因] MTS のトレイを引出そうとしましたが，MTS のドアが開いていました。
[対処] MTS のドアを閉じて下さい。
E316405
E316405E316405
E316405：
：：
：
指定したトレイ段数あるスタッカがありません。
指定したトレイ段数あるスタッカがありません。指定したトレイ段数あるスタッカがありません。
指定したトレイ段数あるスタッカがありません。
[原因] MTS のトレイを引出そうとしましたが，指定したトレイ段数のあるスタッカがありません
でした。
[対処] 指定した段数のあるスタッカをセットして下さい。
E316501
E316501E316501
E316501：
：：
：
軸移動でエラーが発生しました。
軸移動でエラーが発生しました。軸移動でエラーが発生しました。
軸移動でエラーが発生しました。￨
￨￨
￨ｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞ:%ld
:%ld:%ld
:%ld
[原因] 軸移動でエラーが発生しました。
E316502
E316502E316502
E316502：
：：
：
搬送の初期化エラーが発生しました。
搬送の初期化エラーが発生しました。搬送の初期化エラーが発生しました。
搬送の初期化エラーが発生しました。￨
￨￨
￨原点復帰を中断します。ｴﾗｰｺｰﾄﾞ
原点復帰を中断します。ｴﾗｰｺｰﾄﾞ原点復帰を中断します。ｴﾗｰｺｰﾄﾞ
原点復帰を中断します。ｴﾗｰｺｰﾄﾞ:%
:%:%
:%
ld
ldld
ld
[原因] 搬送の初期化エラーが発生しました。
[対処] 搬送路内に基板がないか確認してください。
103
E316503
E316503E316503
E316503：
：：
：
搬送路内に基板を検知しました。
搬送路内に基板を検知しました。搬送路内に基板を検知しました。
搬送路内に基板を検知しました。
[原因] 搬送路内に基板を検知しました。
[対処] 確認を選択すると処理を中断します。
Q317001
Q317001Q317001
Q317001：
：：
：
マニュアル制御を終了します。
マニュアル制御を終了します。マニュアル制御を終了します。
マニュアル制御を終了します。￨
￨￨
￨各Ｉ／Ｏの安全方向設定を行いますか。
各Ｉ／Ｏの安全方向設定を行いますか。各Ｉ／Ｏの安全方向設定を行いますか。
各Ｉ／Ｏの安全方向設定を行いますか。
[原因] マニュアル制御の終了を選択したときに表示します。各 I/O を安全方向に設定するかどう
かを問い合わせます。
[対処] “はい”ボタンを選択すると各 I/O の安全方向設定を行います。“いいえ”ボタンを選択
するとマニュアル制御の終了を取り消します。
Q317011
Q317011Q317011
Q317011：
：：
：
原点復帰が終了していません。
原点復帰が終了していません。原点復帰が終了していません。
原点復帰が終了していません。￨
￨￨
￨原点復帰を行いますか。
原点復帰を行いますか。原点復帰を行いますか。
原点復帰を行いますか。
[原因] 軸の原点出しが完了していません。原点復帰を行うかどうかを問い合わせます。
[対処] “はい”ボタンを選択すると原点復帰を行い，処理を継続します。“いいえ”ボタンを選
択すると原点復帰を行わず，処理を継続します。
Q317021
Q317021Q317021
Q317021：
：：
：
部品を返却できません。
部品を返却できません。部品を返却できません。
部品を返却できません。￨
￨￨
￨部品を廃棄してもよろしいですか。
部品を廃棄してもよろしいですか。部品を廃棄してもよろしいですか。
部品を廃棄してもよろしいですか。
[原因] ノズルを ATC に返却するときの部品の有無確認で部品が検出されました。部品の吸着位置
が分からないため部品を返却できません。部品の廃棄を問い合わせします。
[対処] “はい”ボタンを選択すると部品を廃棄位置に廃棄します。“いいえ”ボタンを選択する
とノズル取外しのヘッド待機位置に移動して部品取外しを要求します。
Q317031
Q317031Q317031
Q317031：
：：
：
処理を中断しますか
処理を中断しますか処理を中断しますか
処理を中断しますか
？
？？
？
[原因] STOP スイッチが押されました。処理の中断を問い合わせします。
[対処] “はい”ボタンを選択すると処理を中断します。“いいえ”ボタンを選択すると処理を継
続します。
Q317041
Q317041Q317041
Q317041：
：：
：
ＭＴＳのトレイを収納しますか。
ＭＴＳのトレイを収納しますか。ＭＴＳのトレイを収納しますか。
ＭＴＳのトレイを収納しますか。
[原因] MTS のトレイが引き出された状態で MTS 制御の画面が終了が選択されました。
[対処] “はい”を選択すると，トレイを収納して終了します。“いいえ”を選択すると，トレイ
を引き出した状態で終了します。
I318001
I318001I318001
I318001：
：：
：
%s
%s%s
%sの部品を取り外して下さい。
の部品を取り外して下さい。の部品を取り外して下さい。
の部品を取り外して下さい。
[原因] ノズルに部品等の何かがセットされているためノズルを ATC に返却できません。
[対処] ？ヘッドの部品をマニュアルで取り外して下さい。
I318011
I318011I318011
I318011：
：：
：
ＭＴＣをオンライン状態にして下さい。
ＭＴＣをオンライン状態にして下さい。ＭＴＣをオンライン状態にして下さい。
ＭＴＣをオンライン状態にして下さい。
[原因] MTC のシャトルを引出そうとしましたが，MTC がオンライン状態になっていませんでした。
[対処] MTC をオンライン状態にして下さい。
I318021
I318021I318021
I318021：
：：
：
ＭＴＳをオンライン状態にして下さい。
ＭＴＳをオンライン状態にして下さい。ＭＴＳをオンライン状態にして下さい。
ＭＴＳをオンライン状態にして下さい。
[原因] ＭＴＳがオンライン状態になっていません。
[対処] ＭＴＳをオンライン状態にしてください。