KE2010取扱説明書Ver.2.01和文Rev.08.pdf - 第551页
8 - 30 ① 実行前のステーションの状態(左−>右搬送の場合)には以下の4つが考えられます。 1.入口、出口 ステーション 、ともに基板がない状態 2.入口 ステーション に基板が搬入されている状態 入口ステーション 出口ステーション 入口ステーション 出口ステーション ① 3 . 出 口 ステーション に基板が搬入されている状態 4.入口、出口 ステーション 、ともに基板が搬入されている状態 入口ステー…

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基板ステーション間移動時の状態説明
◇ 基板ロード(穴基準、外形基準)は実行前のステーション状態によって動作が異なります。
そこで、基板ロード(穴基準、外形基準)実行時の、ステーション状態の違いによる動作の変化
を以下に示します。
KE-2030 以外の機種では設定できません。
基板ステーション
間移動制御
制御位置
①
実行前のステーション
状態(入口ステーション
/出口ステーション)
②
搬出動作
③
基板ステー
ション間移
動
④
搬入動作
備考
1(無/無) なし C(両ステーション)
動作 無し 両ステーション
2(有/無) Ⅰ(入口ステーション)
移動なし
C(両ステーション)
3(無/有) Ⅱ(出口ステーション)
C(両ステーション)
4(有/有) Ⅲ(両ステーション) C(両ステーション)
入口ステーション
1(無/無) なし A(入口ステーション)
2(有/無) Ⅰ(入口ステーション)
A(入口ステーション)
3(無/有) なし A(入口ステーション)
(注3)
4(有/有) Ⅲ(両ステーション) A(入口ステーション)
出口ステーション
1(無/無) なし B(出口ステーション)
2(有/無) Ⅰ(入口ステーション)
B(出口ステーション)
3(無/有) Ⅱ(出口ステーション)
B(出口ステーション)
4(有/有) Ⅲ(両ステーション) B(出口ステーション)
1(無/無) なし 移動なし
A(入口ステーション)
(注4)
動作 有り 両ステーション
2(有/無) なし 移動 A(入口ステーション)
(注1)
3(無/有) Ⅱ(出口ステーション)
移動なし
A(入口ステーション)
4(有/有) Ⅱ(出口ステーション)
移動 A(入口ステーション)
(注2)
1(無/無) なし 移動なし
A(入口ステーション)
入口ステーション
2(有/無) なし 移動 A(入口ステーション)
(注1)
3(無/有) なし 移動なし
A(入口ステーション)
(注3)
4(有/有) Ⅱ(出口ステーション)
移動 A(入口ステーション)
(注2)
1(無/無) なし 移動なし
B(出口ステーション)
出口ステーション
2(有/無) なし 移動 なし
3(無/有) Ⅱ(出口ステーション)
移動なし
B(出口ステーション)
4(有/有) Ⅱ(出口ステーション)
移動 なし
有:基板がある状態
無:基板がない状態
1∼4:①実行前のステーション状態(次項参照)
Ⅰ∼Ⅲ:②搬出動作(次項参照)
A∼C:④搬入動作(次項参照)
(注1)入口ステーションの基板が出口ステーションに移動する動作(③ 次項参照)と入口ステーション
に基板が搬入される動作(④−A 次項参照)は同時に実行されます。
(注2)全て同時に実行されます。
(注3)出口ステーション側の基板の搬出動作は行われません。
(注4)出口ステーション側の基板の搬入動作は行われません。
注意
注意注意
注意 :

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① 実行前のステーションの状態(左−>右搬送の場合)には以下の4つが考えられます。
1.入口、出口ステーション、ともに基板がない状態 2.入口ステーションに基板が搬入されている状態
入口ステーション 出口ステーション
入口ステーション 出口ステーション
①
3. 出口ステーションに基板が搬入されている状態 4.入口、出口ステーション、ともに基板が搬入されている状態
入口ステーション 出口ステーション
①
入口ステーション 出口ステーション
② ①
② 搬出動作(左−>右搬送の場合)には以下の3つが考えられます。
Ⅰ.入口ステーションから基板を搬出 Ⅱ.出口ステーションから基板を搬出
入口ステーション 出口ステーション
①
入口ステーション 出口ステーション
①
Ⅲ. 両ステーションから基板を搬出
入口ステーション 出口ステーション
② ①
③ 基板ステーション間移動(左−>右搬送の場合)とは以下のことです。
入口ステーション 出口ステーション
① ①
④ 搬入動作(左−>右搬送の場合)には以下の3つが考えられます。
A.入口ステーションに基板を搬入 B.出口ステーションに基板を搬入
入口ステーション 出口ステーション
①
入口ステーション 出口ステーション
①
入口ステーション 出口ステーション
② ①
入口ステーションから出口ステーションに移動

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8-3-3. 自動基板幅調整
自動基板幅調整自動基板幅調整
自動基板幅調整制御
制御制御
制御
[制御(
C
)][搬送系(
C
)][自動基板幅調整制御(
W
)
...
]を選択すると、下記の自動基板幅
調整制御のダイアログが表示されます。
図
図図
図
8-3-3
自動基板幅調整制御ダイアログ
自動基板幅調整制御ダイアログ自動基板幅調整制御ダイアログ
自動基板幅調整制御ダイアログ
(1)
制御項目
制御項目をラジオボタンにより選択します。
(2)
制御ボタン
制御ボタンにより制御項目を実行します。
1)
原点復帰
自動基板幅調整を原点復帰します。
制御項目の“原点復帰”がチェックされているときに<実行(
1
)>ボタンを選択するかまた
は、F3キーを押して制御します。
2)
幅変更
搬送の幅を変更します。
制御項目の“幅変更”がチェックされているときに<実行(
1
)>ボタンを選択するかまたは、
F3キーを押して制御します。
(3)
状態表示
各センサ、各ユニットの状態を連続表示します。