KE2010取扱説明書Ver.2.01和文Rev.08.pdf - 第806页
101 E316051 E316051 E316051 E316051： ： ： ： Ｚ軸座標がリミットを越えました。 Ｚ軸座標がリミットを越えました。 Ｚ軸座標がリミットを越えました。 Ｚ軸座標がリミットを越えました。 [原因] Z 軸座標がリミットを越えました。それ以上の移動はできません。 [対処] リミットの範囲内で移動して下さい。 E316101 E316101 E316101 E316101： ： ： ： レ ー レー レー …
100
マニュアル制御関連
マニュアル制御関連マニュアル制御関連
マニュアル制御関連
E316001
E316001E316001
E316001：
：：
：
メモリアロケーションエラー
メモリアロケーションエラーメモリアロケーションエラー
メモリアロケーションエラー
[原因] 作業領域の確保ができません。
[対処] 使用可能なメモリを増やして下さい。
E316002
E316002E316002
E316002：
：：
：
シェアードメモリオープンエラー
シェアードメモリオープンエラーシェアードメモリオープンエラー
シェアードメモリオープンエラー
[原因] シェアードメモリーをオープンできませんでした。
[対処] シャットダウンをして再起動してください。
E316011
E316011E316011
E316011：
：：
：
入力文字がありません。
入力文字がありません。入力文字がありません。
入力文字がありません。
[原因] 入力確定時に文字が有りません。
[対処] 文字を入力して下さい。
E316012
E316012E316012
E316012：
：：
：
入力文字に異常があります。
入力文字に異常があります。入力文字に異常があります。
入力文字に異常があります。
[原因] 入力確定時の文字列に異常があります。
[対処] 正しい文字を入力して下さい。
E316013
E316013E316013
E316013：
：：
：
入力値が入力範囲を越えています｡
入力値が入力範囲を越えています｡入力値が入力範囲を越えています｡
入力値が入力範囲を越えています｡
[原因] 入力確定時の値が入力範囲を越えています。
[対処] 入力範囲内の値を入力して下さい。
E316021
E316021E316021
E316021：
：：
：
原点復帰が終了していません。
原点復帰が終了していません。原点復帰が終了していません。
原点復帰が終了していません。
[原因] 軸の原点出しが完了していません。
[対処] ORIGIN スイッチにより原点復帰を行って下さい。
E316022
E316022E316022
E316022：
：：
：
サーボフリー状態です。
サーボフリー状態です。サーボフリー状態です。
サーボフリー状態です。
[原因] サーボのロックが解除されているため軸の移動ができません。
[対処] S-FREE スイッチによりサーボをロック状態にして下さい。
E316031
E316031E316031
E316031：
：：
：
選択したデバイスは装着されていません。
選択したデバイスは装着されていません。選択したデバイスは装着されていません。
選択したデバイスは装着されていません。￨
￨￨
￨別のデバイスを再選択してく
別のデバイスを再選択してく別のデバイスを再選択してく
別のデバイスを再選択してく
ださい。
ださい。ださい。
ださい。
[原因] HOD により選択したデバイスは装着されていないためティーチングモードに入ることを
できません。
[対処] 装着されているデバイスを再選択して下さい。
W316041
W316041W316041
W316041：
：：
：
ノズルを割り付けたＡＴＣがありません。
ノズルを割り付けたＡＴＣがありません。ノズルを割り付けたＡＴＣがありません。
ノズルを割り付けたＡＴＣがありません。￨
￨￨
￨マシンセットアップでＡＴＣ
マシンセットアップでＡＴＣマシンセットアップでＡＴＣ
マシンセットアップでＡＴＣ
にノズルを割り付けて下さい。
にノズルを割り付けて下さい。にノズルを割り付けて下さい。
にノズルを割り付けて下さい。
[原因] ATC 制御のノズル交換が選択されましたが，ATC にはノズルが一本も割り付けられていま
せん。
[対処] マシンセットアップでの ATC ノズル割付で ATC にノズルを割り付けて下さい。
W316042
W316042W316042
W316042：
：：
：
ヘッドにノズルがセットされていません。
ヘッドにノズルがセットされていません。ヘッドにノズルがセットされていません。
ヘッドにノズルがセットされていません。
[原因] ATC 制御でノズル返却が選択されましたが，指定されたヘッドにはノズルがセットされて
いません。
[対処] ヘッドにノズルをセットしてから実行して下さい。
101
E316051
E316051E316051
E316051：
：：
：
Ｚ軸座標がリミットを越えました。
Ｚ軸座標がリミットを越えました。Ｚ軸座標がリミットを越えました。
Ｚ軸座標がリミットを越えました。
[原因] Z 軸座標がリミットを越えました。それ以上の移動はできません。
[対処] リミットの範囲内で移動して下さい。
E316101
E316101E316101
E316101：
：：
：
レー
レーレー
レーザパラメータ設定でエラーが発生しました。
ザパラメータ設定でエラーが発生しました。ザパラメータ設定でエラーが発生しました。
ザパラメータ設定でエラーが発生しました。￨
￨￨
￨ｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞ:%ld
:%ld:%ld
:%ld
[原因] レーザのパラメータ設定で異常が発生しました。
?: エラーコード
-1: 通信エラーが発生しました。
[対処] マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
E316102
E316102E316102
E316102：
：：
：
レーザ計測（
レーザ計測（レーザ計測（
レーザ計測（ONCE
ONCEONCE
ONCE）でエラーが発生しました。
）でエラーが発生しました。）でエラーが発生しました。
）でエラーが発生しました。￨
￨￨
￨ｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞ:%ld
:%ld:%ld
:%ld
[原因] レーザによる計測（ONCE）でエラーが発生しました。
?: エラーコード
-1: 通信エラーが発生しました。
その他: マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
[対処] マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
E316103
E316103E316103
E316103：
：：
：
レーザ計測（
レーザ計測（レーザ計測（
レーザ計測（SWEEP
SWEEPSWEEP
SWEEP）でエラーが発生しました。
）でエラーが発生しました。）でエラーが発生しました。
）でエラーが発生しました。￨
￨￨
￨ｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞ:%ld
:%ld:%ld
:%ld
[原因] レーザによる計測（SWEEP）でエラーが発生しました。
?: エラーコード
-1: 通信エラーが発生しました。
-2: 軸エラーが発生しました。
その他: マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
[対処] マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
E316104
E316104E316104
E316104：
：：
：
ノズル有無チェックでエラーが発生しました。
ノズル有無チェックでエラーが発生しました。ノズル有無チェックでエラーが発生しました。
ノズル有無チェックでエラーが発生しました。￨
￨￨
￨ｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞ:%ld
:%ld:%ld
:%ld
[原因] レーザによる計測（ONCE）でエラーが発生しました。
?: エラーコード
-1: 通信エラーが発生しました。
[対処] マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
E316105
E316105E316105
E316105：
：：
：
イメージデータ取得でエラーが発生しました。
イメージデータ取得でエラーが発生しました。イメージデータ取得でエラーが発生しました。
イメージデータ取得でエラーが発生しました。￨
￨￨
￨ｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞ:%ld
:%ld:%ld
:%ld
[原因] レーザによるイメージデータ取得でエラーが発生しました。
?: エラーコード
-1: 通信エラーが発生しました。
その他: マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
[対処] マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
E316106
E316106E316106
E316106：
：：
：
エッジチェックデータ取得でエラーが発生しました。
エッジチェックデータ取得でエラーが発生しました。エッジチェックデータ取得でエラーが発生しました。
エッジチェックデータ取得でエラーが発生しました。￨
￨￨
￨ｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞ:%ld
:%ld:%ld
:%ld
[原因] レーザによるエッジチェック取得でエラーが発生しました。
?: エラーコード
-1: 通信エラーが発生しました。
その他: マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
[対処] マニュアル制御の「レーザ制御」内の「ステータス一覧」を参照して下さい。
102
E316107
E316107E316107
E316107：
：：
：
データを取得できません。
データを取得できません。データを取得できません。
データを取得できません。
[原因] 測定範囲（±４０㎜）外のためＨＭＳによるＺ軸座標が取得できません。
[対処] ＨＭＳの測定位置（ＸＹ座標）が正しいか確認して下さい。
E316301
E316301E316301
E316301：
：：
：
ＭＴＣの電源が投入されていません。
ＭＴＣの電源が投入されていません。ＭＴＣの電源が投入されていません。
ＭＴＣの電源が投入されていません。
[原因] MTC の電源が投入されていません。
[対処] MTC の電源を投入してから，オンライン状態にして下さい。
E316302
E316302E316302
E316302：
：：
：
ＭＴＣがオンラインになっていません。
ＭＴＣがオンラインになっていません。ＭＴＣがオンラインになっていません。
ＭＴＣがオンラインになっていません。
[原因] MTC がオンライン状態になっていません。
[対処] MTC をオンライン状態にして下さい。
E316303
E316303E316303
E316303：
：：
：
ＭＴＣがサプライ状態です。
ＭＴＣがサプライ状態です。ＭＴＣがサプライ状態です。
ＭＴＣがサプライ状態です。
[原因] MTC がサプライ（部品交換）状態のため制御できません。
[対処] MTC を通常状態にして下さい。
E316401
E316401E316401
E316401：
：：
：
ＭＴＳの電源が投入されていません。
ＭＴＳの電源が投入されていません。ＭＴＳの電源が投入されていません。
ＭＴＳの電源が投入されていません。
[原因] MTS のトレイを引出そうとしましたが，MTS の電源が投入されていませんでした。
[対処] MTS の電源を投入して下さい。
E316402
E316402E316402
E316402：
：：
：
ＭＴＳがオンラインになっていません。
ＭＴＳがオンラインになっていません。ＭＴＳがオンラインになっていません。
ＭＴＳがオンラインになっていません。
[原因] MTS のトレイを引出そうとしましたが，MTS がオンライン状態になっていませんでした。
[対処] MTS をオンライン状態にして下さい。
E316403
E316403E316403
E316403：
：：
：
本体カバーオープン時にＭＴＳは，動作しません。
本体カバーオープン時にＭＴＳは，動作しません。本体カバーオープン時にＭＴＳは，動作しません。
本体カバーオープン時にＭＴＳは，動作しません。
[原因] MTS のトレイを引出そうとしましたが，本体のカバーが開いていました。
[対処] 本体のカバーを閉じて下さい。
E316404
E316404E316404
E316404：
：：
：
ＭＴＳのドアが開いています。
ＭＴＳのドアが開いています。ＭＴＳのドアが開いています。
ＭＴＳのドアが開いています。
[原因] MTS のトレイを引出そうとしましたが，MTS のドアが開いていました。
[対処] MTS のドアを閉じて下さい。
E316405
E316405E316405
E316405：
：：
：
指定したトレイ段数あるスタッカがありません。
指定したトレイ段数あるスタッカがありません。指定したトレイ段数あるスタッカがありません。
指定したトレイ段数あるスタッカがありません。
[原因] MTS のトレイを引出そうとしましたが，指定したトレイ段数のあるスタッカがありません
でした。
[対処] 指定した段数のあるスタッカをセットして下さい。
E316501
E316501E316501
E316501：
：：
：
軸移動でエラーが発生しました。
軸移動でエラーが発生しました。軸移動でエラーが発生しました。
軸移動でエラーが発生しました。￨
￨￨
￨ｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞｺｰﾄﾞ
ｺｰﾄﾞ:%ld
:%ld:%ld
:%ld
[原因] 軸移動でエラーが発生しました。
E316502
E316502E316502
E316502：
：：
：
搬送の初期化エラーが発生しました。
搬送の初期化エラーが発生しました。搬送の初期化エラーが発生しました。
搬送の初期化エラーが発生しました。￨
￨￨
￨原点復帰を中断します。ｴﾗｰｺｰﾄﾞ
原点復帰を中断します。ｴﾗｰｺｰﾄﾞ原点復帰を中断します。ｴﾗｰｺｰﾄﾞ
原点復帰を中断します。ｴﾗｰｺｰﾄﾞ:%
:%:%
:%
ld
ldld
ld
[原因] 搬送の初期化エラーが発生しました。
[対処] 搬送路内に基板がないか確認してください。