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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-03O-00 3-2-1 -10 ■設備単位 TBL( テーブル ) 参照しているテーブル。 吸着回数 エラー回数 エラー率 傾向 エラー率の増減傾向をアイコンで表示。 ● ● ● ● ● ：超上昇傾向 ：上昇傾向 ：変わらない傾向 ：超下降傾向 ：下降傾向 吸着情報の詳細情報が表示される。 ■ライン単位 ノズル位置 装着ヘッド内のノズル位置番号。 ノズル番号 設備単位、またはライン単位のエラ ー率。…
NPM-W2 EJM7DJ-MB-03O-00
ヘッドの吸着状況
生産中・停止中の見方 5
3-2-1-9
B
D
生産
情報
A
生産中の基板を生産後、停止する。
(→P.3-1-2)
最新の情報に更新される。
前後の表が表示される。
●選択中のノズルの1時間当たりのエ
ラー回数がグラフに表示される。
縦軸:エラー回数
横軸:時間
元の画面に
戻るとき
●装着ヘッドの吸着状況が表示されます。
C
A
B
D
C
1
設備単位/ライン単位を選ぶ。
:設備単位
:ライン単位
1
操作編
3-2-1
NPM-W2 EJM7DJ-MB-03O-00
3-2-1-10
■設備単位
TBL(テーブル)
参照しているテーブル。
吸着回数
エラー回数
エラー率
傾向
エラー率の増減傾向をアイコンで表示。
●
●
●
●
●
：超上昇傾向
：上昇傾向
：変わらない傾向
：超下降傾向
：下降傾向
吸着情報の詳細情報が表示される。
■ライン単位
ノズル位置
装着ヘッド内のノズル位置番号。
ノズル番号
設備単位、またはライン単位のエラー率。
HF
KI
J
G
N
M
F
G
H
I
J
K
L
M
Ｎ
L
HF
KI
J
G
N
M
L
E
MC(設備)
設備をライン化した場合の先頭から
の設備番号。
E
E
NPM-W2 EJM7DJ-MB-03O-00
ノズルの吸着状況
生産中・停止中の見方 6
A
C
B
D
3-2-1-11
生産
情報
●ノズルチェンジャー内のノズルの吸着状況が表示されます。
生産中の基板を生産後、停止する。
(→P.3-1-2)
最新の情報に更新される。
前後の表が表示される。
●選択中のノズルの1時間当たりのエ
ラー回数がグラフに表示される。
縦軸:エラー回数
横軸:時間
元の画面に
戻るとき
A
B
D
C
1
設備単位/ライン単位を選ぶ。
:設備単位
:ライン単位
1
操作編
3-2-1
E