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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-06O-00 6-2-15 -2 ティーチングの流れ ティーチングデータを選択 ティーチングの開始 基板搬送 装着点選択 カメラ移動 インチング ティーチング対象データ移動 計測テスト ティーチングを行う装着点を選択 します。 ティーチング終了 基板を搬送します。 ティーチングの開始画面から選択し た場合は不要です。 認識画像の状態を変更することが できます。 最大 5 か所の局所高さ計測データを テ…
NPM-W2 EJM7DJ-MB-06O-00
生産
データ
ティーチ
ング
局所高さティーチング 1
6-2-15-1
■局所高さについて
設備には、高さセンサー(オプション)を使用して、塗布(描画含む)の装着を行う前に、基板の反り状態な
どの高さを補正して材料を塗布する機能があります。
この局所高さ計測の機能は、任意の塗布点に設定できる局所高さ計測のデータ(最大5箇所)をもとに、塗
布を行う部分の基板の高さを計測して、ノズルの下降量を補正して塗布動作を行います。
■局所高さティーチングについて
局所高さ計測によって塗布(描画含む)時にノズルの下降量を補正させた場合に、計測した高さの状態が
安定しない場合、局所高さティーチングによって計測する座標を調整して、基板の状態を確認すること
ができます。
局所高さティーチングでは、計測する座標をティーチングして、該当の計測位置で高さ計測を行った場
合の基板の高さ(基板上に塗布する基準高さからのずれ量)を確認します。
また、1つの塗布点ごとに最大5か所の局所高さ計測を行うことができますので、指定されている全計測
点と各計測点の近傍4か所を高さ計測して、その高さ計測の結果を確認することができます。
以下に計測テスト(局所高さ計測データ全5か所の場合)を行った際に高さを計測する位置を示します。
0.2 mm 0.2 mm
0.2 mm
0.2 mm
部品を装着する位置
計測点
(局所高さ計測データ)
確認点
(計測点を中心にして、上下左右
に0.2 mm移動させた4か所)
お願い
●計測点と確認点の差異が大きいときは高さセンサーによる局所高さ計測の状態が安定していないため、
再度計測点の座標をティーチングしてください。
操作編
6-2-15
NPM-W2 EJM7DJ-MB-06O-00
6-2-15-2
ティーチングの流れ
ティーチングデータを選択
ティーチングの開始
基板搬送
装着点選択
カメラ移動
インチング
ティーチング対象データ移動
計測テスト
ティーチングを行う装着点を選択
します。
ティーチング終了
基板を搬送します。
ティーチングの開始画面から選択し
た場合は不要です。
認識画像の状態を変更することが
できます。
最大5か所の局所高さ計測データを
ティーチングします。
NPM-W2 EJM7DJ-MB-06O-00
生産
データ
ティーチ
ング
局所高さティーチング 2
6-2-15-3
操作編
6-2-15
1
1
ここでは代表的な局所高さティーチングの操作手順を説明します。
塗布ヘッドと高さセンサーが前側ヘッドに取り付けられている場合で説明します。
●高さセンサーが取り付けられているテーブルが選択されている場合のみ操作が可能です。
3
3
2
2
局所高さティーチングを行う対象
データを選ぶ