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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-06O-00 ティーチングの流れ 基板反り計測点データの入力 ティーチングの開始 計測点データの選択 位置の調整 計測テスト データセーブ ティーチングの完了 NPM-DGS で作成 6-2-3 -2
NPM-W2 EJM7DJ-MB-06O-00
パターン1 パターン2
パターン3 パターン4
基板の反りを予測し、それに応じて装着高さを制御する基板反り検出機能があります。この機能は、基
板表面の高さを数点、高さセンサーで測定し、その測定結果から想定する近似曲面を描き、その近似曲
面に合せて装着高さをコントロールします。
基板反りの計測と補正のモードとして、基板/パターンの2つがあります。基板反りモードは、基板の反
り状態によって使い分ける必要があります。
概念図
■反りモード：基板
基板反り計測点
■反りモード：パターン
パターン1 パターン2
パターン3 パターン4
基板反り計測点
●計測ポイントの適正（表面素材、エリア、数、配置）を事前に確認する必要があります。(→P.9-1-8)
●事前にNPM-DGSより変更を行う基板データを送ります。(→P.2-3-3)
●基板反り計測点ティーチングは、基板反り対象の基板データで実施可能です。ソフトスイッチの「基
板反り検出」がONで、基板反り計測点座標が登録されている必要があります。
(→NPM-DGS 4.3.3オプション設定)
●計測点ティーチングを行う前に、オプション設定の「高さセンサーによる計測」「基板反り補正」が
ONになっている必要があります。(→P.7-1-1 オプションの設定)
基板反り計測点について
生産
データ
ティーチ
ング
基板反り計測点ティーチング
1(オプション)
操作編
6-2-3
6-2-3-1
NPM-W2 EJM7DJ-MB-06O-00
ティーチングの流れ
基板反り計測点データの入力
ティーチングの開始
計測点データの選択
位置の調整
計測テスト
データセーブ
ティーチングの完了
NPM-DGSで作成
6-2-3-2
NPM-W2 EJM7DJ-MB-06O-00
2
+
メッセージを確認して
3
1
2
(反りモードがパターンのときのみ
選択可能。)
●パターン番号を設定
4
3
(基板搬入のメッセージを確認し基板を
セット。)
5
5
(基板反り測定点データが表示。)
+
■操作しないとき
1
レーンの選択
( の画面のまま)
1
■1点毎に計測し計測点を変更したいとき
へ
3
■全点の計測を行い結果をみたいとき
へ
11
(基板が搬入され、認識マークの認識を実
施。)
(デュアルレーンのとき。)
ティーチング手順 1
6-2-3-3
生産
データ
ティーチ
ング
基板反り計測点ティーチング
2(オプション)
操作編
6-2-3