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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-06O-00 パターン 1 パターン 2 パターン 3 パターン 4 基板の反りを予測し、それに応じて装着高さを制御 する基板反り検出機能があります 。この機能は、基 板表面の高さを数点、高さセンサーで測定し、その 測定結果から想定する近似曲面を 描き、その近似曲 面に合せて装着高さをコントロールします。 基板反りの計測と補正のモードとして、基板 / パタ ーンの 2 つがあります。基 板反りモードは…

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G
G
ANS値が認識OK(動作パラメーター(
))より値が大きい場合、認識OKとなり
ます。
●次のマークがある場合のみ、引き続
き同様の操作でティーチングを行い
ます。
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ティーチング結果を保存してください。
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+
+
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パターン1 パターン2
パターン3 パターン4
基板の反りを予測し、それに応じて装着高さを制御する基板反り検出機能があります。この機能は、基
板表面の高さを数点、高さセンサーで測定し、その測定結果から想定する近似曲面を描き、その近似曲
面に合せて装着高さをコントロールします。
基板反りの計測と補正のモードとして、基板/パターンの2つがあります。基板反りモードは、基板の反
り状態によって使い分ける必要があります。
概念図
■反りモード:基板
基板反り計測点
■反りモード:パターン
パターン1 パターン2
パターン3 パターン4
基板反り計測点
●計測ポイントの適正(表面素材、エリア、数、配置)を事前に確認する必要があります。(P.9-1-8)
●事前にNPM-DGSより変更を行う基板データを送ります。(P.2-3-3)
●基板反り計測点ティーチングは、基板反り対象の基板データで実施可能です。ソフトスイッチの「基
板反り検出」がONで、基板反り計測点座標が登録されている必要があります。
(NPM-DGS 4.3.3オプション設定)
●計測点ティーチングを行う前に、オプション設定の「高さセンサーによる計測」「基板反り補正」が
ONになっている必要があります。(P.7-1-1 オプションの設定)
基板反り計測点について
生産
データ
ティーチ
ング
基板反り計測点ティーチング
1(オプション)
操作編
6-2-3
6-2-3-1
NPM-W2 EJM7DJ-MB-06O-00
ティーチングの流れ
基板反り計測点データの入力
ティーチングの開始
計測点データの選択
位置の調整
計測テスト
データセーブ
ティーチングの完了
NPM-DGSで作成
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