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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-03O-0 0 ノズルの吸着状況 生産中・停止中の見方 6 A C B D 3-2-1 -11 生産 情報 ●ノズルチェンジャー内のノズルの吸着状況が表示 されます。 生産中の基板を生産後、停止する。 ( → P.3-1-2) 最新の情報に更新される。 前後の表が表示される。 ●選択中のノズルの 1 時間当たりのエ ラー回数がグラフに表示される。 縦軸 : エラー回数 横軸 : 時間 元の画面に 戻る…

NPM-W2 EJM7DJ-MB-03O-00
3-2-1-10
■設備単位
TBL(テーブル)
参照しているテーブル。
吸着回数
エラー回数
エラー率
傾向
エラー率の増減傾向をアイコンで表示。
●
●
●
●
●
:超上昇傾向
:上昇傾向
:変わらない傾向
:超下降傾向
:下降傾向
吸着情報の詳細情報が表示される。
■ライン単位
ノズル位置
装着ヘッド内のノズル位置番号。
ノズル番号
設備単位、またはライン単位のエラー率。
HF
KI
J
G
N
M
F
G
H
I
J
K
L
M
N
L
HF
KI
J
G
N
M
L
E
MC(設備)
設備をライン化した場合の先頭から
の設備番号。
E
E

NPM-W2 EJM7DJ-MB-03O-00
ノズルの吸着状況
生産中・停止中の見方 6
A
C
B
D
3-2-1-11
生産
情報
●ノズルチェンジャー内のノズルの吸着状況が表示されます。
生産中の基板を生産後、停止する。
(→P.3-1-2)
最新の情報に更新される。
前後の表が表示される。
●選択中のノズルの1時間当たりのエ
ラー回数がグラフに表示される。
縦軸:エラー回数
横軸:時間
元の画面に
戻るとき
A
B
D
C
1
設備単位/ライン単位を選ぶ。
:設備単位
:ライン単位
1
操作編
3-2-1
E

NPM-W2 EJM7DJ-MB-03O-00
3-2-1-12
■設備単位
TBL(テーブル)
参照しているテーブル。
吸着回数
エラー回数
エラー率
傾向
エラー率の増減傾向をアイコンで表示。
●
●
●
●
●
:超上昇傾向
:上昇傾向
:変わらない傾向
:超下降傾向
:下降傾向
吸着情報の詳細情報が表示される。
■ライン単位
チェンジャ位置
選んだテーブル側のノズルチェン
ジャー内のノズル位置。
ノズル番号
設備単位、またはライン単位のエラー率。
F
G
H
I
J
K
L
M
N
HF
KI
J
G
N
M
L
HF
KI
J
G
N
M
L
E
MC(設備)
設備をライン化した場合の先頭から
の設備番号。
E
E