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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-09O-00 仕様 ノズル仕様 7 塗布ノズル(オプション) 3 操作編 9-1-6 2) 2 点ノズル ( 単位： mm) 塗布禁止領域 3.4 塗布禁止領域 3.4 5.4 5.65 ( 0 ° )( - 9 0 ° , 90 ° ) ( 0 ° ) 基板端面 5.65 4.9 デッドスペース 3.4 ストッパー 先端 ノズル 3.65 (7223) 3.8 (7222) 3.9 (7236) 4…
NPM-W2 EJM7DJ-MB-09O-00
9-1-6-12
塗布方向
0° -90° 90°
1点塗布/描画塗布
*1)
4.9 5.65 4.1
2点塗布 4.9(一部 5.4)
5.65 5.63
4点塗布
4.9 5.9 5.9
■塗布範囲の制約について
基板端面(基板上面;奥側)からの塗布不可能範囲 (Y 方向)(単位：mm)
●基板下面の手前側では、ストッパーの位置がY 方向で逆になるため、塗布不可能距離が、-90°と90°
で上記の表の値が入れ替わります。
*1)描画塗布ノズルは、1 点ノズルの「0°」と同条件となります。
1) 1 点ノズル／描画塗布ノズル
*2)
(単位：mm)
( 0°)
塗布禁止領域
3.4
4.9
( -90°)
塗布禁止領域
3.4
5.65
(90°)
塗布禁止領域
3.4
4.1
ストッパー先端
基板端面
ストッパー先端
4.1
5.65
4.9
デッドスペース
3.4
( 0°)
( -90°)
(90°)
ノズル
NPM-W2 EJM7DJ-MB-09O-00
仕様
ノズル仕様 7
塗布ノズル(オプション) 3
操作編
9-1-6
2) 2 点ノズル (単位：mm)
塗布禁止領域
3.4
塗布禁止領域
3.4
5.4
5.65
( 0°)( -90°, 90°)
( 0°)
基板端面
5.65
4.9
デッドスペース
3.4
ストッパー
先端
ノズル
3.65 (7223)
3.8 (7222)
3.9 (7236)
4.0 (7201,7204)
4.1 (7202)
( -90°, 90°)
①7224ノズル
基板端面
5.65
5.4
デッドスペース
3.4
ストッパー
先端
ノズル
4.4
塗布禁止領域
3.4
塗布禁止領域
3.4
4.9
5.65
( 0°)( -90°, 90°)
3) 4 点ノズル (単位：mm)
②その他のノズル
( 0°)
基板端面
5.9
4.9
デッドスペース
3.4
ストッパー
先端
ノズル
( -90°, 90°)
4.4
3.9 (7601)
4.3 (7606)
塗布禁止領域
3.4
塗布禁止領域
3.4
4.9 5.9
( 0°)( -90°, 90°)
9-1-6-13
●塗布不可能範囲はマーク認識による補正、ノズルオフセットが0 の時のものです。
補正やノズルオフセットが入ると塗布不可能範囲が増加する場合があります。
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9-1-7
仕様
NPMの3ノズルヘッド用ノズルとCM301/CM202/CM120/CM100のノズルのオリフィスを交換、
または新なものを取り付け/取り外して共用ができます。
●AM100用のノズルは使用できません。
■分割型ノズルのとき
(1001,1002ノズル)
■一体型ノズルのとき
(1003,1004,1005,特殊ノズル)
■分割型ノズルのとき
(1001,1002ノズル)
■一体型ノズルのとき
(1003,1004,1005,特殊ノズル)
オリフィスC
(KXFB03KPA00)
専用オリフィスB
(KXFB03KNA00)
ノズルの互換性
オリフィスA
(KXFB01MPA00)
オリフィスA オリフィスB
オリフィスC
CM301
CM202
CM120
CM100
操作編
9-1-7
CM101 CM212
CM232 CM400
CM401 CM402
CM602 DT401
NPMシリーズ