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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-09O-0 0 9-1-8 -2 基板の高さ ( 反り ) を測定することで、品質不良基板への装 着を未然に防止します。 基板反り補正機能 *1) 外観 局所基板高さ補正機能と同じセンサを用います。 対象基板 *2) 基板厚み 1.6 ～ 8.0 mm 基板材質 ガラエポ 測定面材質 銅箔＋レジスト面、銅箔面、シルク面で 1.5 × 1.5 mm 以上のエリアがあ ること。 透明、半透明な箇所は対象外…
NPM-W2 EJM7DJ-MB-09O-00
9-1-8-1
仕様
高さセンサー 1
操作編
9-1-8
外観
対象基板
基板厚み 0.3 ～ 8.0 mm
基板材質 ガラエポ、紙フェノール(セラミック：別途個別対応)
測定面材質
銅箔＋レジスト面、銅箔面、シルク面、セラミック面で1.5 × 1.5 mm以
上のエリアがあること。
透明、半透明な箇所は対象外。(ガラエポ素材面など)
機能
局所基板高さ
コントロール
機能
描画塗布位置近傍の基板の反り(高さ)を数点測定し、最適な描画高さに
補正します。
基板反り許容
値検出機能
数点測定した結果の差分が許容値以上の場合、描画塗布前にエラー検出
し、品質不良の発生を未然に防ぎます。
測定条件
測定高さ 基板上面 ±4 mm
測定エリア 基板端から5 mm内側に測定点を配置する必要があります。
測定時間 0.5 s (30 × 30 mm 、4コーナー測定のときの最適条件値)
基板の反り(高さ)を測定することで、塗布品質の向上を図ります。
* 塗布ヘッドを搭載するX軸に取り付ける必要があります。
* 測定情報の設備間通信は行いません。
* 塗布ヘッドの塗布高さの補正のみ行います。
局所基板高さ補正機能
高さセンサー
NPM-W2 EJM7DJ-MB-09O-00
9-1-8-2
基板の高さ(反り)を測定することで、品質不良基板への装着を未然に防止します。
基板反り補正機能
*1)
外観
局所基板高さ補正機能と同じセンサを用います。
対象基板
*2)
基板厚み 1.6 ～ 8.0 mm
基板材質 ガラエポ
測定面材質
銅箔＋レジスト面、銅箔面、シルク面で1.5 × 1.5 mm以上のエリアがあ
ること。
透明、半透明な箇所は対象外。(ガラエポ素材面など)
基板反り量
上反り2 mm以下、下反り2 mm以下、かつ反り勾配が0.5 %以下、稜線
(搬送方向)の高低差が1 mm以下。
機能
基板反り許
容値検出
測定結果が許容値を超えるときは、実装開始前に警告を出す。許容反り
勾配(%)も確認する。
高さ
コントロー
ル
基板全体の高さ(反り)を測定し、実装高さをコントロールする。
測定データ
受け渡し
ライン先頭のNPM-W2で測定したデータを下流の設備に受け渡す。
※下流の設備は、NPM-W2が対象。NPM-W2以外の設備(NPM-Wも含む)
には、データ受け渡しができない。
※基板クランプするごとに反り形状が変化するような基板については、
ご相談ください。
測定条件
測定高さ
基板上面 ±4 mm (測定可能な範囲です。基板反り許容範囲ではありませ
ん)
測定エリア
基板端、切り欠きから5 mmのエリア。
測定点
*3)
全体反り補正 : 9 点以上 (最大25 点/枚)
パターン反り補正: 9 点/パターン以上 (最大25 点/パターン)
測定時間
3.0 s (750 × 510 mm 基板で9 点測定のときの最適条件値)
A
B
B
A
稜線
搬送方向 搬送方向
1mm以下
稜線
高さセンサー
NPM-W2 EJM7DJ-MB-09O-00
9-1-8-3
*1) 装着ヘッド + 装着ヘッドの組み合わせの設備に取り付けます。
装着ヘッド + 装着ヘッドの組み合せの設備で基板反り測定とデータ送信を実施し、装着ヘッドのある
ステージで装着高さをコントロールします。装着ヘッド + 塗布ヘッド、検査ヘッド、ヘッドなしの設
備での基板反り測定は対象外です。
シングルレーンモードで使用するときは、前側のヘッドに高さセンサーを取り付けます。デュアルレー
ンモードで使用するときは、前後のヘッドに高さセンサーを取り付ける必要があります。
*2) 高さセンサーによる基板反り補正にて補正可能な反りは、断面形状がU字型の単純な曲面が対象です。
反りが複雑なときは、パターン反り補正を用いることで単純な曲面の組み合わせとして補正することが
できます。
スリット(切り欠き)がある基板、薄い基板は反り形状が複雑になる傾向がありますので、パターン反り
補正を推奨します。(→■パターン反り補正)
*3) 測定点の最大設定数(設定総数)については、P.9-1-1 設備仕様 プログラムデータを参照してください。
■パターン反り補正
パターン毎の測定点で反り補正を行うことをパターン反り補正といいます。(下図参照)
スリット(切り欠き)がある基板は、反り形状が複雑になり、なめらかな(一様な)曲面にならない傾向が
あります。
このような基板の場合は、パターン反り補正を推奨します。
スリット
パターン1 パターン2 パターン3
パターン4 パターン5 パターン6
測定箇所
A
A
上反り
下反り
A – A断面
●補正不可能な反り形状
例) うねりのある基板
仕様
高さセンサー 2
操作編
9-1-8