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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-06O-00 6-2-3 -7 生産 データ ティーチ ング 基板反り計測点ティーチング 4 (オプション) 操作編 6-2-3 ティーチング手順 3 14 基板の反り状態を表示 14 15 他メニューボタンを押し、メッ セージを確認して + ■基板搬出しないとき 15 ●LNBが接続されているときのみ表 示。 Z Y X 前側 グラフは、前側から見た図 +
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差異 ：計測値と補正値の差
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計測値：理想の基板上面と測定基板上面
の差（計測基板上面が高いとき
は、プラスにて表示）
補正値：計測結果より算出した補正曲
面の同じ座標の値
●差異が±0.3 mmを超えた場合は、エ
ラーとなり枠内の背景が黄色となる。
適正な補正曲面を得る為、計測点の見
直しを行う。また、計測値または補正
値が、-4.5 mm未満または、+2 mmを
超えたときも、エラーとなる。
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： の画面に遷移
11
11
11
+
(計測座標全点の計測を行い、計測結
果を表示。)
基板があることと、
メッセージを確認して
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+
■操作しないとき
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14
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( の画面のまま)
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生産
データ
ティーチ
ング
基板反り計測点ティーチング
4(オプション)
操作編
6-2-3
ティーチング手順 3
14
基板の反り状態を表示
14
15
他メニューボタンを押し、メッ
セージを確認して
+
■基板搬出しないとき
15
●LNBが接続されているときのみ表示。
Z
Y
X
前側
グラフは、前側から見た図
+
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