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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-03O-0 0 3-2-16 -3 6 ( エラー発生位置の基板情報が削除さる ) 7 6 ( 生産準備動作画面に戻る ) 8 7 8 生産 情報 操作編 3-2-16 基板反り検出エラー 2 + ( 生産が開始される ) ●基板抜き取り作業は終了です。
NPM-W2 EJM7DJ-MB-03O-00
3-2-16-2
3
エラーとなった基板を設備から
抜き取る
4
抜き取り確認のあと
(生産が開始される)
5
基板位置エラーが発生したあと
5
+
NPM-W2 EJM7DJ-MB-03O-00
3-2-16-3
6
(エラー発生位置の基板情報が削除さる)
7
6
(生産準備動作画面に戻る)
8
7
8
生産
情報
操作編
3-2-16
基板反り検出エラー 2
+
(生産が開始される)
●基板抜き取り作業は終了です。
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3-2-16-4
③基板反り勾配許容値変更
④ 基板反り計測ティーチング
動作パラメーター「基板反り勾配許容値」の設定変更を実施する
ティーチングを実施する