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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-03O-00 3-2-16 -1 基板反り検出エラーの対応方について説明します。 基板反り検出エラー 1 1 ●エラーの種類は次の通り 5 つあります。 A: 基板反り範囲オーバー、 B: 基板反り想定範囲異常、 C: 基板反り結果勾配異常、 D: 基板反り計測エラー、 E: 基板反り補正不可 ●基板反り検出エラーが発生したとき、エラーの種 類に合わせて以下の 4 つの 方法にて操作してください。 ①…

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基板反り検出エラーの対応方について説明します。
基板反り検出エラー 1
1
●エラーの種類は次の通り5つあります。
A:基板反り範囲オーバー、B:基板反り想定範囲異常、C:基板反り結果勾配異常、D:基板反り計測エラー、
E:基板反り補正不可
●基板反り検出エラーが発生したとき、エラーの種類に合わせて以下の4つの方法にて操作してください。
①基板反り形状再計測
メインメニューに戻り 再度生産スタート
②エラー基板抜き取り
以下のフローを実施
+
2
2
(ホーム画面に戻る)
1
操作方法 エラーの種類
① 基板反り形状再計測
A、B、C
② エラー基板抜き取り
A、B、C
③ 基板反り勾配許容値変更
C
④ 基板反り計測ティーチング
A、B、C、D、E
生産
情報
操作編
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3
エラーとなった基板を設備から
抜き取る
4
抜き取り確認のあと
(生産が開始される)
5
基板位置エラーが発生したあと
5
+