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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-07O-0 0 7-2-6 -2 + 2 ( ノズルを外した状態で各ヘッドのエア ブローと真空圧が計測される ) ■エアブローと真空圧の計測に異常が 発生したとき メッセージを確認して ( 該当ノズルの計測値の背景が黄色で 表示される ) F ■エアブローと真空圧の計測が異常な く完了したとき に「清掃ブロー完了」と表示 される。

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NPM-W2 EJM7DJ-MB-07O-00
ユニット
調整
装着ヘッドの動作確認
7-2-6-1
1
装着ヘッドやノズルの動作が正常であることを一括で確認します。
とも行ってください。
+
A
B
C
F
2
操作編
7-2-6
D
E
(各ノズルの真空確認の結果が表示され
)
ノズル
センサー値
詰り
■真空確認が異常なく完了したとき
に「真空チェック完了」と表示される。
■真空確認で異常が発生したとき
該当のノズルの計測値の背景が黄色で表示
される。
前後の表が表示される。
エラー
1
C D
A B E
F
F
メッセージ表示領域
装着ヘッドに取り付けられたノズルの
番号。
●取り付けられていないときは、「-
が表示される。
●計測値が異常なときは、背景が黄色
で表示される。
●フィルター詰り検出値。「フィルター
清掃」動作の結果、計測値が異常だっ
たときに確認する。
●ノズル詰り検出値。「真空チェック」
動作の結果、計測値が異常だったとき
に確認する。
NPM-W2 EJM7DJ-MB-07O-00
7-2-6-2
+
2
(ノズルを外した状態で各ヘッドのエア
ブローと真空圧が計測される)
■エアブローと真空圧の計測に異常が
発生したとき
メッセージを確認して
(該当ノズルの計測値の背景が黄色で
表示される)
F
■エアブローと真空圧の計測が異常な
く完了したとき
に「清掃ブロー完了」と表示
される。
NPM-W2 EJM7DJ-MB-07O-00
ユニット
調整
真空出力確認
(装着ヘッド)
7-2-7
1
バルブの切り替えを行い、真空ポンプやエアブローの動作が正常であることを個々に確認します。
とも行ってください。
+
1
+
+
+
A
B
C
B C
操作編
7-2-7
空気流量値
真空・ブロー時の空気流量値の
確認
■真空ポンプをON/OFFするとき
(真空ポンプのON/OFFが切り替わる)
■真空ポンプをONにし、指定ノズルの
真空バルブだけをON/OFFするとき
(下に真空圧が表示される)
■真空ポンプをONにし、指定ノズル
の真空破壊バルブだけをON/OFF
るとき
(上に真空破壊のときの圧力が表示さ
れる)
■清掃ブローをON/OFFするとき
(清掃ブローバルブのON/OFFが切り替わる)
真空バルブ
真空破壊バルブ
(P.7-2-6) 8bit換算して表
示される。
BA C
ノズルの空気流量値。
B
C
センサー値 詰り