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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-06O-00 6-2-3 -5 + (選択されている計測座標と周囲 4 点を 計測し、その結果が表示される) 8 9 (次の計測点に移動) ●以下のポイントを確認 1 2 3 4 5 1.5 mm 1.5 mm 計測点(中心)と周囲の差が 0.03 mm 以下 + ●全点の確認を行う ● の操作で計測座標を変更したと き、変更した座標を保存するか確認 される。どちらかを選択する。 8 10 ● の操作…

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NPM-W2 EJM7DJ-MB-06O-00
6-2-3-4
+
6
6
計測したい座標Noを選択
7
(計測する座標にヘッドカメラが移動
し、計測点の状態を視覚的に確認す
ることができる。)
7
●画面に表示される画像の中心が計測
位置
●目視確認にて、計測点が基板表面の
条件に適合した面であることを確認
NPM-W2 EJM7DJ-MB-06O-00
6-2-3-5
+
(選択されている計測座標と周囲4点を
計測し、その結果が表示される)
8
9
(次の計測点に移動)
●以下のポイントを確認
1
2
3
4
5
1.5 mm
1.5 mm
計測点(中心)と周囲の差が0.03 mm
以下
+
●全点の確認を行う
の操作で計測座標を変更したと
き、変更した座標を保存するか確認
される。どちらかを選択する。
8
10
の操作で計測座標を変更したと
き、変更した座標を保存するか確認
される。どちらかを選択する。
8
8 9
10
●計測結果が安定しないとき
インチングなどで計測に適した位置に
調整し、再度周囲計測を行う。
(□1.5 mm内に銅箔等の境界を含まな
いように調整する)
ティーチング手順 2
生産
データ
ティーチ
ング
基板反り計測点ティーチング
3(オプション)
操作編
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NPM-W2 EJM7DJ-MB-06O-00
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差異 :計測値と補正値の差
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計測値:理想の基板上面と測定基板上面
の差(計測基板上面が高いとき
は、プラスにて表示)
補正値:計測結果より算出した補正曲
面の同じ座標の値
●差異が±0.3 mmを超えた場合は、エ
ラーとなり枠内の背景が黄色となる。
適正な補正曲面を得る為、計測点の見
直しを行う。また、計測値または補正
値が、-4.5 mm未満または、+2 mm
超えたときも、エラーとなる。
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の画面に遷移
11
11
11
+
(計測座標全点の計測を行い、計測結
果を表示。)
基板があることと、
メッセージを確認して
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+
■操作しないとき
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14
12
( の画面のまま)
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