N7201A616J00.pdf - 第595页
NPM-W 2 EJM7DJ-MB-07O-00 ユニット 調整 シリンジ状態確認 (塗布ヘッド) 7-2-8 塗布ヘッドに搭載される各種ユニットの状態の確認 を行います。 1 操作編 7-2-8 各種ユニットの状態を確認 A 温調ステータス B 材料状態 C 現在温度 ( ℃ ) D 設定温度 ( ℃ ) E 圧力 (MPa) 2 動作確認を行いたいシリンジ pos を選ぶ F ノズルに対して、塗布バルブの ON/OFF を行う。 G…
NPM-W2 EJM7DJ-MB-07O-00
ユニット
調整
真空出力確認
(装着ヘッド)
7-2-7
1
バルブの切り替えを行い、真空ポンプやエアブローの動作が正常であることを個々に確認します。
● とも行ってください。
+
1
+
+
+
A
B
C
B C
操作編
7-2-7
空気流量値
真空・ブロー時の空気流量値の
確認
■真空ポンプをON/OFFするとき
(真空ポンプのON/OFFが切り替わる)
■真空ポンプをONにし、指定ノズルの
真空バルブだけをON/OFFするとき
(下に真空圧が表示される)
■真空ポンプをONにし、指定ノズル
の真空破壊バルブだけをON/OFFす
るとき
(上に真空破壊のときの圧力が表示さ
れる)
■清掃ブローをON/OFFするとき
(清掃ブローバルブのON/OFFが切り替わる)
真空バルブ
真空破壊バルブ
●(P.7-2-6) が8bit換算して表
示される。
BA C
ノズルの空気流量値。
B
C
：“センサー値” ：“詰り”
NPM-W2 EJM7DJ-MB-07O-00
ユニット
調整
シリンジ状態確認
(塗布ヘッド)
7-2-8
塗布ヘッドに搭載される各種ユニットの状態の確認を行います。
1
操作編
7-2-8
各種ユニットの状態を確認
A
温調ステータス
B
材料状態
C
現在温度(℃)
D
設定温度(℃)
E
圧力(MPa)
2
動作確認を行いたいシリンジpos
を選ぶ
F
ノズルに対して、塗布バルブのON/OFF
を行う。
G
ノズルに対して、温調ユニットのヒー
ター制御のON/OFFを行う。
3
+
●材料切れの状態を確認する。
2 3
1
F G
BA C D E
各ノズルの温調ステータスの状態。
各ノズルの材料切れ検出状態。
各ノズルのシリンジに取り付けられる温
調ユニットの現在温度。
各ノズルのシリンジに取り付けられる温
調ユニットに設定したい温度。
各ノズルのシリンジに加える電空レギュ
レーターの圧力。
NPM-W2 EJM7DJ-MB-07O-00
ユニット
調整
基板の搬送確認
7-2-9
(搬送コンベヤー上に基板があるとき、
位置が表示される)
基板の搬送動作が正常であることを確認します。
●デュアルレーンモードのときは、事前にレーンを選ぶ。
1
B
+
A
2
+
+
1
C
2
操作編
7-2-9
基板の長さを選ぶ。
搬送の速度を選ぶ。
■後工程からの要求信号なしで搬出
するとき
が有効になる。
(基板が選んだ位置に搬送される)
搬送させる
■設備内に搬入させるとき
■設備外に搬出させるとき
A
B
■シングルレーンモードのとき
■デュアルレーンモードのとき
C
センサー
D
搬送位置
D
基板センサーの状態が表示されます。
現在の基板の有り無し状態が表示されます。