RS-1使用说明书.pdf - 第123页
第 1 部 基本篇 第 2 章 生产 2-17 2-5 通过模式 不实施生产 ，只作为传送 缓冲，让基 板传送通过时使用。 在主画面菜 单中选择 [ 生产 ] -[ 通过 ] ，会 显示以下 画面，返回原点完成 后，即进 行全轴退避 。 全轴退避后， 显示「询问 调整基板宽度提 示信息」画面。
第 1 部 基本篇 第 2 章 生产
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2-4-3 运行内容
预热运行期间，显示下列画面。
选择对象后，开始运行下列预热内容。
轴
运行 X、Y、Z、θ、ZA 轴驱动、真空、吹风的 ON/OFF 动作、ATC 滑
板的开/关动作。
但，
ATC
滑板动作在反复开、关
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次的动作后，会自动结束。
传送
运行传入马达、传出马达、支撑台马达的驱动。
MTC
执行往复动作。
画面上显示如下内容
按<STOP>开关、或按画面上的[停止]按钮后，会显示画面，要求确认是否结束预热。
选择[确定]： 在确认结束的画面上选择[确定]时为结束预热，回到初始画面。
再次开始预热时，无需清除时间或次数即可继续运行。
但若要把时间改为次数、次数改为时间，则原预热的运行时间累计或次数累计
记录会被清除。
选择[取消]：选择[取消]，则再开始预热。
设置内容
显示初始画面中设定的时间、次数或温度。
温度
显示目前的运行时间、运行次数或目前温度。
总运行信息
显示迄今为止执行预热的总时间和次数。
在设备运行信息画面中，可以清除该数据。
初始画面上设置的
时间/次数／温度
总运行信息
迄今为止实行预热
的总时间／次数
当前的实行的
时间／次数／
温度
第 1 部 基本篇 第 2 章 生产
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2-5 通过模式
不实施生产，只作为传送缓冲，让基板传送通过时使用。
在主画面菜单中选择[生产]-[通过]，会显示以下画面，返回原点完成后，即进行全轴退避。
全轴退避后，显示「询问调整基板宽度提示信息」画面。
第 1 部 基本篇 第 2 章 生产
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选择[是]，显示「自动调整基板宽度画面」。
按[移动]按钮调整基板幅宽。
调整基板宽度后，或在「基板宽度变更询问提示信息」中按下[否]后，显示以下开始画面。
从[3 缓冲]和[1 缓冲]中选择任意的缓冲模式，点击「OK」后将显示下一画面。基板到达传送的
传感器上时传送带会转动。
若选择[调整基板幅宽]，则显示「自动调整基板宽度画面」，可变更基板幅宽。