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第 1 部 基本篇 第 2 章 生产 2-99 ⑦ 关闭 退出基板传送 画面。 Ø 执行传送时 ，按＜ START ＞开关 ( 或＜执行 ＞ ) 。 Ø 结束操作时，按 ＜关闭＞。 Ø 传送过程中因为 某种理由要取消动作时， 可按＜ STOP ＞开 关停止。 (2) 传送通道 动作状态 ① 基板搬入 将基板传入 进行固定 的缓冲区， 进行固定 这时固定的 位置，会 根据设置的设定 、基板的外形尺 寸而变化。 如果在固定 位置上已 有基板…
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2-98
2-12-1-5 基板传送
显示各种传感器的状态，一边进行基板搬入、基板搬出、释放基板、个别控制、自动调整基板宽度，
一边进行传送相关的调整。
(1) 操作
① 传送动作
选择传送动作。可选择（基板）搬入、（基板）搬入(第 2 次)、搬出（基板）、释放基板、重夹。
(（基板）搬入(第 2 次)仅单通道传送才能选择)
起动时选择「基板搬入」。
② 搬送动作显示
根据指定的传送动作、动作站点，以图形显示传送状态的变化。
③ 搬入后的 BOC 校准设置
选择基板搬入是否立即实施 BOC 校准。
「按照操作选项」…根据操作选项的设置决定是否进行 BOC 标记识别。
「必须执行」…必须进行 BOC 标记识别。
「不执行」…不执行 BOC 标记识别。
④ 状态
显示执行传送动作中的信息。
显示传送方向、BOC 标记、固定状态的信息。
⑤ 轴退避
将轴进行退避。
⑥ 执行
按下执行按钮，执行[基板搬入]、[基板搬出]、[释放基板] 、[重夹]动作。
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2-99
⑦ 关闭
退出基板传送画面。
Ø 执行传送时，按＜START＞开关(或＜执行＞)。
Ø 结束操作时，按＜关闭＞。
Ø 传送过程中因为某种理由要取消动作时，可按＜STOP＞开关停止。
(2) 传送通道动作状态
① 基板搬入
将基板传入进行固定的缓冲区，进行固定
这时固定的位置，会根据设置的设定、基板的外形尺寸而变化。
如果在固定位置上已有基板时，则在传出后再进行传入。
② 基板搬入（第 2 次）（基板安装(2 阶段)）
进行第 2 阶段的固定。
在固定使用 HMS。
③ 搬出基板
将基板从固定位置传出。
④ 释放基板
如果基板被固定，则解除固定。
⑤ 重夹
如果基板在固定位置上，则进行重夹动作，固定基板。
⑥ 重夹(2 阶段)
基当基片是在夹紧位置时，重夹固定使用 HMS 操作
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2-100
2-12-1-6 标记数据示教
可显示指定站点（工作站）的 BOC 标记、基准领域标记，并对其进行确认。
（1）操作
① 电路设置
设置执行识别 BOC 标记、或基准领域标记动作的电路。
只有基准电路可设置所有电路、指定电路。
② BOC 标记
可以进行 BOC 标记的各标记位置示教。进行示教时，要通过功能栏的示教进行输入。此时，输
入焦点无论在 XY 任何一方，XY 可同时自动反映对应值。
③ 基准领域标记
可以进行基准领域标记的各标记的位置示教。进行示教时，要通过功能栏的示教进行输入。此时，
输入焦点无论在 XY 任何一方，XY 可同时自动反映对应值。
通过在标记编号中输入数字来指定基准领域标记的编号。
④ 基板信息
显示基板的传送方向、挡块、设计端点、基板位置基准、BOC 标记。
⑤ BOC 标记识别
按照设定的条件进行 BOC 标记识别动作。
如果标记数据为准完成状态，则自动进行标记示教，完成标记数据。
详见「第 4 章 制作生产程序」的「4-3-3-3 BOC 标记」。