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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 4-178 (1) 操作 ① 传送动作 可选择传送 动作。可选择 搬入基板、搬出 基板、释放基板 、重夹。 启动时选择「 搬入」 。 ② 传送动作显 示 根据指定的传 送动作、动 作顺序，传 送状态的变化会显示 在图上。 ③ 搬入后的 B O C 标 准设置 选择是否基板 搬入后立即 执行 BOC 校准。 「按选 项执行」 ・・・ 按操作选项的预先设 置，决定是否进 行 BOC 标记识 别。…
第 1 部 基本篇 第4 章 制作生产程序
4-177
4-5-2-5 基板控制
可进行基板的搬入及搬出。
选择菜单后，如果安全盖(安全罩)打开，为了将轴回避到安全位置，会显示以下对话框。
请确认安全后，按下<START>开关。
将轴回避到安全位置后，显示以下的基板传送对话框。
第 1 部 基本篇 第4 章 制作生产程序
4-178
(1) 操作
① 传送动作
可选择传送动作。可选择搬入基板、搬出基板、释放基板、重夹。
启动时选择「搬入」。
② 传送动作显示
根据指定的传送动作、动作顺序，传送状态的变化会显示在图上。
③ 搬入后的 BOC 标准设置
选择是否基板搬入后立即执行 BOC 校准。
「按选项执行」 ・・・ 按操作选项的预先设置，决定是否进行 BOC 标记识别。
「必须执行」 ・・・ 必须进行 BOC 标记识别。
「不执行」 ・・・ 不执行 BOC 标记识别。
④ 状态
显示传送动作执行中的信息。
显示传送方向、BOC 标记、夹紧状态的信息。
⑤ 退避轴
退避轴。
⑥ 执行
按下执行按钮，执行[搬入]、[搬出基板]、[释放基板]、[重夹]动作。
⑦ 关闭
退出基板传送对话框。
要执行传送时按<START>开关（或[执行]按钮）。
要结束操作时，按[关闭]按钮。
传送过程中由于某种理由要取消操作时，可按<STOP>开关停止。
(2) 传送通道动作状态
① 搬入（基板安装）
将基板搬入至夹紧缓冲区，进行固定。
这时固定的位置会按照设置的设定或基板的外形尺寸而变化。
在固定位置上已有基板时，会搬出后再搬入。
② 搬入(第 2 次)
进行第 2 阶段的固定。
③ 搬出基板
将基板从固定位置搬出。
基板搬出时，在 OUT 传感器近前会减速，在低速的状态下进行 OUT 传感器检测。
在夹紧解除的状态下，基板搬出动作会以低速进行搬出动作。
④ 释放基板
基板被固定时，解除固定。
⑤ 重夹
基板在固定位置上时，进行重夹动作，在止动器位置夹紧基板。
⑥ 再次夹紧（2 阶段）
基板在夹紧位置时，执行再次夹紧动作，在第 2 阶段位置夹紧基板。
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4-5-2-6 自动调整基板宽度
可进行基板传送宽度调整。
选择菜单后，显示以下对话框。
·自动基板宽度调整(单通道)
(1) 移动
按照基板外形尺寸＋余宽的宽度移动传送宽度。
(2) 基板外形尺寸
输入基板外形尺寸。默认为代入基板数据的基板外形尺寸(Y 方向)。
(3) 余宽
输入基板与传送轨道的余宽。
(4) 动作状态
基板传送、宽度回原点时，显示传送通道上的动作状态。
(5) 基板传送
启动基板传送对话框。
(6) 宽度回原点
执行自动调整基板宽度的返回原点。
(7) 关闭
退出自动调整基板宽度对话框。