RS-1使用说明书.pdf - 第863页
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能 11-13 11-3-3-4-1 准备完成后 ，在按 [ 确 认 ] 按钮的同时 ，按照 [ 操作 ] 显 示的指示进行 操作，即 可自动取得数值 。 (1) 完成设置所需操作１ ）～ 6 ），说明 如下。 1) 吸嘴分配 测量 Head 偏移量，请使 用 7506 号吸嘴。 2) 准备夹具 将夹具放在 裸芯片工 作台（ Bare Station ） 的中心框里。 3) 吸取夹具 吸取…
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
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(2) 装配位置 / 角度(Head 1 显示)
显示 MS 参数中保存的数值，及设置的结果。
(3) 操作
1)进度条
显示测量的经过。测量结束即变为 100%。
2)[确认]按钮
按[确认]按钮，各 Head 单元即移动到等待位置开始测量。
详情请参见以下小项「设置方法」。
按[确认]，轴即移动。
按[确认]前，请务必确认没有人正在进行装置内部的作业。为了防止人身
伤害，运行中切勿将手伸入装置内部，也不要将脸和头靠近装置。
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
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11-3-3-4-1
准备完成后，在按[确认]按钮的同时，按照[操作]显示的指示进行操作，即可自动取得数值。
(1) 完成设置所需操作１）～6），说明如下。
1) 吸嘴分配
测量 Head 偏移量，请使用 7506 号吸嘴。
2) 准备夹具
将夹具放在裸芯片工作台（Bare Station）的中心框里。
3) 吸取夹具
吸取裸芯片工作台（Bare Station）的夹具。如果发生错误，请重新装载夹具。
4) 通过激光校准识别夹具
通过激光校准识别夹具。
5) 算出装配位置及装配角度
从 4)算出的结果，算出激光校准装配角度及 Head 装配位置。
6) 归还夹具
将夹具归还到 Station（工作台）。
测量结束后，进度条会变为 100%。
按[确定]按钮，测量值会变为有效，但此时还不会被保存/设置。
退出应用程序时才会被设置。详情请参见「11-3-3-4-2 设置值的保存及退出」。
按[取消]按钮，测量值会无效。
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11-3-3-4-2
在[Head 偏移量] [激光/传感高度] [VCS 偏移量]的各设置画面中，有＜确定＞及＜取消＞按钮。即
使选择＜确定＞，此时也不会保存。
各项目的设置值测量后，点击画面右上的关闭按钮
[
×
]、
或按下信息区域的退出按钮，会显示是否保
存的提问信息。
此时选择＜是＞即保存。
No.
1
是
保存设置值，显示各
I/O
的安全方向设置询问提示。
2
否
使设置值无效，显示各
I/O
的安全方向设置询问提示。
按[是]，轴即移动，开始各 I/O 安全方向设置。
按[是]前，请务必确认没有人正在进行装置内部的作业。为了防止人身伤
害，运行中切勿将手伸入装置内部，也不要将脸和头靠近装置。