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第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能 11-9 表中的各项 目内容如 下。 真空 真空的 ON/OFF 状态。 值 无吸嘴真空值。 判定 显示过滤器脏 污检查的判 定结果。 正常退出时显 示「 OK 」， 过滤器脏污检出 时显示「错误」 。 过滤器脏污的 判定， 取得的真空值 在可安装吸 嘴的真空下限值 （过滤器堵塞检 查值） 以下时， 为错误。 此外，取 得的真空值 ，大于（ L NC120 过滤器不良 判定值＋吸嘴更 …

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第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
11-8
11-3-3-2 过滤器弄脏检查
从自己诊断菜单上选择[过滤器沾污]，即可显示过滤器弄脏检查对话框。
指定要检查的供料器台架，或 Head，按下[执行检查]按钮，执行过滤器脏污检查。
还可用「全检查」，对全部 Head 的选择/非选择状态进行统一变更。
检查结果，列表显示。
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
11-9
表中的各项目内容如下。
真空 真空的 ON/OFF 状态。
值 无吸嘴真空值。
判定
显示过滤器脏污检查的判定结果。
正常退出时显示「OK」，过滤器脏污检出时显示「错误」。
过滤器脏污的判定，取得的真空值在可安装吸嘴的真空下限值（过滤器堵塞检查值）以下时，为错误。
此外，取得的真空值，大于（LNC120 过滤器不良判定值＋吸嘴更换 过滤器不良判定阈值）时，亦
为错误。
共通设定项目如下。
LNC120-8 过滤器不良判定值 LNC120 的过滤器不良判定值
更换吸嘴
过滤器不良判定阈值
更换吸嘴时判定过滤器不良的阈值
更换吸嘴
等待真空上升重试时的延迟时
间（1/1000Sec）
更换吸嘴时，真空上升结束以前的延时时间
更换吸嘴
等待真空上升重试次数
更换吸嘴时，真空上升结束以前的重试次数
「确定」按钮，保存共通设定，关闭画面。
「取消」按钮，不保存共通设定，关闭画面。
出现过滤器脏污错误时，会输出如下信息。
请检查被检出过滤器脏污的 Head 有无堵塞，确认气是否畅通。
此外，请确认是否有气下降现象、真空泵是否已到了更换日期。
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
11-10
11-3-3-3 VCS 脏污检查
从自己诊断菜单选择[VCS 沾污]，即可显示 VCS 脏污检查对话框。
按下[执行检查]按钮，执行 VCS 脏污检查。
检查结果，在检出级别、检出值及状态框里显示。