RS-1使用说明书.pdf - 第871页
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能 11-21 设定 Head 移动到真空 校准上面，计 测加压破坏状 况 3 次。 ・ 显示第 2 次和第 3 次的 平均 值。 ・ 计测后显示 的压力值图 表，是 第 3 次的数 据。 ・ 请按下［确 认］。
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
11-20
设定 Head 移动到真空校准上面，计测真空到达状况 3 次。
设定 Head 移动到真空校准上面，计测自然破坏状况 3 次。
・ 显示第 2 次和第 3 次的平均值。
・ 计测后显示的压力值图表，是第 3 次的数据。
・请按下［确认］。
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
11-21
设定 Head 移动到真空校准上面，计测加压破坏状况 3 次。
・ 显示第 2 次和第 3 次的平均值。
・ 计测后显示的压力值图表，是第 3 次的数据。
・请按下［确认］。
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
11-22
11-3-3-7 VCS 偏移量
从自己诊断菜单选择[VCS 偏移量]，即显示 VCS 偏移量对话框。
在各 VCS 摄像机的设计位置里设置偏移值。
仅当 VCS 识别元件的贴片向一定方向偏移时，需要重新设置。
设置时，要使用裸芯片。
(1) 设置 VCS
用 VCS 单选按钮选择要设置的对象 VCS。
(2) 选择 Head 吸嘴
用复选框选择要计测的 Head。
可同时选择多个计测对象 Head。
(3) 装配位置 / 角度(Head 1 显示)
显示 MS 参数中保存的数值，及设置的结果。
(4) 操作
1)进度条
显示计测的过程。计测完成后，会变为 100%。
2)[确认]按钮
按下[确认]按钮，各 Head 单元会移动到等待位置，开始计测。
详情请参见以下「设置方法」。
按[确认]，轴即移动。
按[确认]前，请务必确认没有人正在进行装置内部的作业。为了防止人身
伤害，运行中切勿将手伸入装置内部，也不要将脸和头靠近装置。