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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-26 清扫部位 3-2-18 共面性传感器 ( 选购项 ) 实施频度:每天 清扫内容 清扫过滤器单元的灰尘 、异物 使用工具:抹布 1) 用干净 的干布或纱布 擦拭过滤器单元 (投射光窗口 /接收光窗口) 的脏污。 接收 光 窗 口 投 射 光 窗 口

第 1 部 基本篇
第 3 章 维护
3-25
清扫部位
3-2-16 负载控制单元(选购项)
实施频度:每月
清扫内容 清扫负载测量面的灰尘、异物 使用工具:抹布
1) 检查负载测量面上是否有灰尘等异物,如果有异物请进行清扫。
清扫部位
3-2-17 CVS(选购项)
实施频度:每周
清扫内容 灰尘、异物的清扫 使用工具:抹布 推荐溶剂:IPA
1) 如果接触面的上面附着有灰尘、异物等,请用布沾酒精擦拭。
上面附着有灰尘等物,可能会造成无法正常检查元件。
2) 接触面的狭缝周围掉入元件等异物时,请用镊子等工具将其取出。
如果掉入异物,可能会造成无法正常检查元件。
取出异物时,请注意避免碰伤接触面的捆束带。
狭缝
捆束带
接触
面
负载控制单元
(
装载模块
)
负载测量面

第 1 部 基本篇
第 3 章 维护
3-26
清扫部位
3-2-18 共面性传感器(选购项)
实施频度:每天
清扫内容 清扫过滤器单元的灰尘、异物 使用工具:抹布
1) 用干净的干布或纱布擦拭过滤器单元(投射光窗口/接收光窗口)的脏污。
接收
光
窗
口
投
射
光
窗
口

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第 3 章 维护
3-27
3-3 注油
1) 用注油枪从 XY 轴直动单元的润滑油注油孔注入润滑油。
使用润滑脂枪/注油嘴
40127626 GREASE_GUN
40127627 GREASE_GUN_NOZZLE
※ 于注油嘴,请把上述润滑脂枪上标准配备的注油嘴更换为
40127627 GREASE_GUN_NOZZLE 后使用。
为防止突然起动造成事故,请切断电源后,再进行维护作业。
LM 导轨和滚珠丝杠的润滑油是不同的。请不要混合使用。
注油项目
3
-
3
-
1
XY 轴直动单元
实施频度 :每 6 个月
使用工具 :注油枪
使用润滑油 :6459 润滑油 N
注油位置 XY 轴直动单元
X
轴直动单元
轨道
上下左右
4
处
Y 轴直动单元轨道 上下前后 4 处
※注油位置
圆圈部位
LM
导轨 润滑油注油孔