RS-1使用说明书.pdf - 第330页
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-36 3) 从真空泵拆 下气管 、成捆电线（电源线 ） ，卸下固 定 VAC_PUMP_ STAY 的六角头铰制孔 用螺栓 (M6 ： 13mm 扳手 ) 及六角螺 母。 4 ）将真空泵 从主机里取出 。 ※取出时 请注意成 捆的电线。 ※取出真 空泵时， 请勿把持连接 管。 ※取出真 空泵时， 有真空泵的橡 胶脚和 VACUUM _PUMP_BR 粘着的情况。 连接管 电源 V ACUUM P…
第 1 部 基本篇
第 3 章 维护
3-35
3-7 定期更换零件更换方法
由于损耗，可能造成以下零件压力降低。
<损耗零件一览>
更换零件组
件号
：40138045
碗形密封垫圈 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等现象 目检
气缸密封圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
Head 密封圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
●真空泵的更换准备
1) 确认真空泵没有运转。（刚停止运转后泵内部会很热，请停止后放置 30 分钟左右，确认泵冷却之后再
开始作业。）
2) 请拆下机器主机前侧右下部的安全盖（安全罩）。
检查・更换
3-7-1 切带单元的更换
使用工具 ：
六角扳手、螺丝刀
更换周期 ：1 年
检查・更换
3-7-2 真空泵零件的更换
使用工具 ：
六角扳手、螺丝刀
更换周期 ：1 年
安全盖
（螺钉
×
4
）
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第 3 章 维护
3-36
3)从真空泵拆下气管、成捆电线（电源线），卸下固定 VAC_PUMP_STAY 的六角头铰制孔用螺栓
(M6：13mm 扳手)及六角螺母。
4）将真空泵从主机里取出。
※取出时请注意成捆的电线。
※取出真空泵时，请勿把持连接管。
※取出真空泵时，有真空泵的橡胶脚和 VACUUM_PUMP_BR 粘着的情况。
连接管
电源
VACUUM PUMP STA
VACUUM PUMP BR
气管
六角头铰制孔用螺栓 x2
六角螺母×2
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3) 卸下与真空泵连接的空气管子、电源连接器，松开用来固定真空泵托架的内六角螺栓(M6×2)，卸下
泵支架。
●更换密封圈
1） 取下泵头盖的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M6×95)。
2） 取下泵头盖内侧的黑色密封圈，共 2 个，更换上新的密封圈。
※请确认密封圈完全放入泵头盖的密封垫圈槽内。
3） 请用 5.0N・m 的力对角拧紧固定泵头盖用的内六角螺栓(M6×95)，使其关闭。
※更换其它消耗零件时，请不要关闭盖（罩），参照各部位的更换步骤操作。
●更换 O 环 P-10
1） 用与更换密封圈相同的要领，卸下泵头盖、连接管。
2） 把 O 环 P-10 安装到位于连接泵头盖之间的连接管。
3） 进行更换，插入连接管时请注意不要划伤 O 环。（1 根管内两侧有 2 处）
※更换前，请清扫连接管的 O 环沟、泵头的连接管安装孔。盖（罩）的安装，请按照密封圈的更换
顺序进行操作。在更换其它消耗零件时，请不要关闭盖（罩），参照各部位的更换步骤操作。
泵头盖内侧
O
环
P
-
10
密封圈
连接管
内六角螺栓(M6×95)
泵头盖