RS-1使用说明书.pdf - 第856页
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能 11-6 11-3-3-1 Ca l 块 标志沾污检查 从自己诊断菜 单里选择 [Ca l 块 标志沾污 ] ，即可显示 Cal 块 标志沾污检查对话框。 按下「执行检 查」按钮， 即可执行 C al 块标志 沾污检查。
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
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11-3-3 个别诊断功能
个别诊断功能是指，按动作项目进行装置诊断的功能。
个别功能的诊断项目，列举如下。
No.
1
Cal 块标志沾污检查
检查 Cal 块标志上有无夹具或部件遮挡标记，确保
返回原点时坐标系不会出现误差。
2
过滤器沾污检查
对 Head 的真空 ON/OFF 按规定次数执行检查，检
查喷射泵的粘连，诊断是否发生不良。
3
VCS 脏污检查 执行 VCS 脏污检查，判定结果。
4
Head 偏移量
相对于 OCC 的各 Head 安装位置
与激光校准主体的安装角度
5
激光/传感高度 从基板表面看到的激光/传感高度
6
真空校准 实施真空测定。
7
VCS
偏移量
标准・高分辨率
VCS
的装配位置
/
安装角度
8
VCS
多元件识别补偿
各吸嘴中心对
VCS(54mm)
的组装位置
9
ATC 滑动板开闭检查
可确认 ATC 滑板开闭时间，为吸嘴更换不良等提供
诊断材料。
(1) 启动之后
选择桌面画面菜单的「维护」→［自己诊断功能］，显示自己诊断的初始画面。
(2) 退出自己诊断
选择信息区域的「退出」或标题栏右侧的退出按钮，即可退出应用程序。
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
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11-3-3-1 Cal 块标志沾污检查
从自己诊断菜单里选择[Cal 块标志沾污]，即可显示 Cal 块标志沾污检查对话框。
按下「执行检查」按钮，即可执行 Cal 块标志沾污检查。
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检查结果，在「识别结果」上显示。
识别结果详细情况如下。
OK 识别 Cal 块标志成功。
识别错误 识别 Cal 块标志出现错误。
脏污错误 Cal 块标志脏污。
Cal 块标志识别出现错误时，会输出如下提示信息。
确认是否 Cal 块标志上有异物、或 Cal 块标志脏污。