RS-1使用说明书.pdf - 第868页

第 2 部功能详解篇第 11 章自己诊断功能 11-18 11-3-3-6 真空校准从自己诊断菜单选择 [ 真空 ] 时，会显示真空校准对话框。 (1) 设定项目 1 到达真空压 Head 端、真空校准端各自的压力传感测到的最高真空到达值 2 到达真空时间 Head 端、真空校准端各自的压力传感测到的真空到达时间 3 真空开始时间 Head 端、真空校准端各自的压力传感测到的真空开始时间 4 …

第 2 部功能详解篇第 11 章自己诊断功能

11-17

激光识别错误及计测结果处于规定范围以外时，

会显示以下提示信息。

激光识别错误及计测结果处于规定范围以外时的以外错误，在显示对象错误提示后，会显示以

下提示信息，按下［OK］，即使有未测定的 Head，也会停止测定动作。

(4) 计测结束

计测结束后，进度条会变为 100%，计测值会显示蓝色字符。

按下[OK]按钮，计测值即变为有效，但此时还未被保存/设置。

经过退出应用程序后，才会被设置。详情请参见「11-3-3-6-2 设置值的保存即退出」。

按[取消]按钮，计测值会无效。

第 2 部功能详解篇第 11 章自己诊断功能

11-18

11-3-3-6 真空校准

从自己诊断菜单选择[真空]时，会显示真空校准对话框。

(1) 设定项目

到达真空压

Head 端、真空校准端各自的压力传感测到的最高真空到达值

到达真空时间

Head 端、真空校准端各自的压力传感测到的真空到达时间

真空开始时间

Head 端、真空校准端各自的压力传感测到的真空开始时间

自然破坏开始时间

Head 端、真空校准端各自的压力传感测到的从真空电磁阀 OFF 到

真空值到达吸取真空压下限值的时间

自然破坏时间

Head 端、真空校准端各自的压力传感测到的从真空电磁阀 OFF 到

真空值到达吸取真空压极限值的时间

正压突进时间

Head 端的压力传感测到的吹风电磁阀 ON 开始到真空值低过大气

压转为正压的时间

第 2 部功能详解篇第 11 章自己诊断功能

11-19

(2) 设定方法

1) Head 选择

默认为“F-连续测量”，“R-连续测量”，无法选择 Head，

但通过取消在“F-连续测量”、“R-连续测量”的勾选，或选择设备、取消对连续测量的勾选，

即可选择 Head。

选择计测对象装置后，在设定 Head 组中的复选框里选择要计测的 Head。

可同时选择多个计测对象 Head（但是，在机器设置的使用单元设定为“未使用”的 Head 不

能选择）。

2) 操作

按指示进行操作即可自动取得数值。

(3) 计测顺序

设定 Head 在真空校准上移动，计测真空到达状况 3 次。

・显示第 2 次和第 3 次的平均值。

・测量后显示的压力值图表，是第 3 次的数据。

・请按下［确认］。