RS-1使用说明书.pdf - 第869页

第 2 部功能详解篇第 11 章自己诊断功能 11-19 (2) 设定方法 1) Head 选择默认为“ F- 连续测量”， “ R- 连续测量” ，无法选择 Head ，但通过取消在 “ F- 连续测量” 、 “ R- 连续测量” 的勾选，或选择设备、取消对连续测量的勾选，即可选择 Head 。选择计测对象装置后，在设定 Head 组中的复选框里选择要计测的 Head 。可同时选择多个计测对…

第 2 部功能详解篇第 11 章自己诊断功能

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11-3-3-6 真空校准

从自己诊断菜单选择[真空]时，会显示真空校准对话框。

(1) 设定项目

到达真空压

Head 端、真空校准端各自的压力传感测到的最高真空到达值

到达真空时间

Head 端、真空校准端各自的压力传感测到的真空到达时间

真空开始时间

Head 端、真空校准端各自的压力传感测到的真空开始时间

自然破坏开始时间

Head 端、真空校准端各自的压力传感测到的从真空电磁阀 OFF 到

真空值到达吸取真空压下限值的时间

自然破坏时间

Head 端、真空校准端各自的压力传感测到的从真空电磁阀 OFF 到

真空值到达吸取真空压极限值的时间

正压突进时间

Head 端的压力传感测到的吹风电磁阀 ON 开始到真空值低过大气

压转为正压的时间

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(2) 设定方法

1) Head 选择

默认为“F-连续测量”，“R-连续测量”，无法选择 Head，

但通过取消在“F-连续测量”、“R-连续测量”的勾选，或选择设备、取消对连续测量的勾选，

即可选择 Head。

选择计测对象装置后，在设定 Head 组中的复选框里选择要计测的 Head。

可同时选择多个计测对象 Head（但是，在机器设置的使用单元设定为“未使用”的 Head 不

能选择）。

2) 操作

按指示进行操作即可自动取得数值。

(3) 计测顺序

设定 Head 在真空校准上移动，计测真空到达状况 3 次。

・显示第 2 次和第 3 次的平均值。

・测量后显示的压力值图表，是第 3 次的数据。

・请按下［确认］。

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设定 Head 移动到真空校准上面，计测真空到达状况 3 次。

设定 Head 移动到真空校准上面，计测自然破坏状况 3 次。

・显示第 2 次和第 3 次的平均值。

・计测后显示的压力值图表，是第 3 次的数据。

・请按下［确认］。