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第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制 9-8 9-3-3 激光 / 传感器控制 选择菜单的 [ Head] - [ 激 光 / 传感器控制 ] , 即可显 示激光 / 传感器控 制的对话 框。 (1) 状态 · 计测结果 控制 Head 真空的 ON /OF F , Z 轴坐标, 激光计测结 果,在控制结束 时显示。 取得计测 (S W EE P 及 ONCE) 结果时, 激光返回的状 态一览显示在下 页。

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2) HMS
a) XY 轴移动
Head 控制的 XY 轴移动同样。
b) 计测
计测高度。
勾选控制项目的计测,按[执行]按钮,进行控制。
计测结果状态,在控制结束时显
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9-3-3 激光/传感器控制
选择菜单的[Head][/传感器控制]即可显示激光/传感器控制的对话框。
(1) 状态·计测结果
控制 Head 真空的 ON/OFFZ 轴坐标,激光计测结果,在控制结束时显示。
取得计测(SWEEP ONCE)结果时,激光返回的状态一览显示在下页。
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0
命令已结束。
1
命令已正常执行
11
左窗口被堵塞错误。请检查元件位置。
12
右窗口被堵塞错误。请检查元件位置。
13
左右窗口都被堵塞错误。请检查元件位置
20
LNC120
的通信发生了错误。
21
LNC120 的通信确立失败。请确 LNC120 是否连接正确。
(IP
地址可能正确设定
)
22
经常在激光中检测到元件。
吸嘴过长,或者激光面上有伤痕。
23
下降
Z
轴也没能检测到元件。
25
激光测量的轴移动中发生错误。
26
与激光传感器的通讯中发生了错误,但是运行了恢复通讯处理。
27
与激光传感器的通讯中发生错误。
没有恢复通讯,请重新启动装置。
28
测量中检测不到阴影。
30
命令中检测到错误的参数。
31
检测到无效数据。
32
没有完成激光识别。
33
因其它原因,异常退出测量。
34
θ 轴编码器信号没能正确输入到 LNC60
请检查编码器电缆和连接插座的接触等。
40
从激光器的接收信号数据中检测到了数据包数量异常错误。
41
从激光器的接收信号数据中检测到了命令异常错误。
42
从激光器的接收信号数据中检测到了地址异常错误。
43
从激光器的接收信号数据中检测到了数据数量异常错误。
44
与激光器确立通信中发生了超时错误。
45
从激光器接收数据信号时发生了超时错误
46
向激光器传送数据时发生了超时错误。
47
向激光器传送数据时发生了重试超时。
50
Once
识别处理发生了识别异常。
51
Once
识别处理中检测到了传感器的异常。
60
未执行测定却要求取得测定结果。
61
未能取得测定数据。
62
测定旋转中要求取得测定结果。
63
测定处理中要求取得测定结果。
64
未能取得进行测定所需的正确数据。
65
测定对象的旋转中心距离测定中心有很大偏移,无法进行测定。
66
测定中断中。
67
未能取得测定所需的足够数据。
68
测定旋转中要求取得测定结果。
(
保持解除角度下。正在测定前的启动旋转中
)
70
在激光器未初始化的状态下要执行传感器功能。
71
激光器发生了无法预期的错误。
72
设定的窗口尺寸过小,因此未能执行测定处理。