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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-20 1) 统一更换台 车要定期清扫。此外, 在安装带 式供料器等供料器 类之前,若 发现有芯片 元件等异物时 , 要用吸尘器 等进行清 扫。 2) 请确认「台 架定位销」 (两 侧)附近没 有芯片元 件等异物。 1 ) 将统一更换台 车插入 主机前,如果台架升 降机上面有 芯片元件等异 物,请用吸 尘器等清扫。 2 ) 请确认「台架 定位销 」 (两侧)附近 没有芯 片元件等异物。 清扫部位 …

第 1 部 基本篇
第 3 章 维护
3-19
1) 「滑动盘①」上若有芯片或垃圾,会成为吸嘴装卸不畅的原因。
请用抹布沾上酒精进行清扫。
1) 请定期进行供料器台架的清扫。
此外,在安装带式供料器等供料器类之前,若发现有芯片元件等异物,请用吸尘器进行清扫。
清扫部位
3-2-8 ATC 单元
实施频度:每周
清扫内容 清扫 ATC 的灰尘、异物 使用工具:抹布 推荐溶剂:IPA
清扫部位
3-2-9 供料器台架
实施频度:每周
清扫内容 清扫供料器台架的灰尘、异物 使用工具:毛刷 吸尘器
①

第 1 部 基本篇
第 3 章 维护
3-20
1) 统一更换台车要定期清扫。此外,在安装带式供料器等供料器类之前,若发现有芯片元件等异物时,
要用吸尘器等进行清扫。
2) 请确认「台架定位销」(两侧)附近没有芯片元件等异物。
1) 将统一更换台车插入主机前,如果台架升降机上面有芯片元件等异物,请用吸尘器等清扫。
2) 请确认「台架定位销」(两侧)附近没有芯片元件等异物。
清扫部位
3-2-10 统一更换台车
实施频度:每周
清扫内容 清扫供料器台架的灰尘、异物 使用工具:毛刷 吸尘器
清扫部位
3-2-11 台架升降机
实施频度:每周
清扫内容
清扫台架升降机上面
的灰尘、异物
使用工具:毛刷 吸尘器
台架定位销(两侧)
台架升降机 L 台架升降机 R
O 环
台架定位销(两侧)

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第 3 章 维护
3-21
1) 请检查 OCC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。
有灰尘或异物时,请用气枪去除。
清扫部位
3-2-12 OCC(偏光滤光片)
实施频度: 每周
清扫内容 清扫 OCC(偏光滤光片)的灰尘、异物 使用工具: 气枪
偏光滤光片