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第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器 设置 8-61 8-4-6 单元 1 可对 ATC （滑 板）、支撑 台、安全 盖锁定 、 LNC LED 、传送挡块、 传送、 A WC 进行控制 。 (1) A TC 的滑板 可进行各 A TC 的滑板 「 OPEN / CLOSE 」控制。 (2) 支撑台 可进行支撑 台的「 UP / DOWN 」控制。 (3) 安全盖锁定 可执行前 / 后 的「安全 盖锁定 ON /OFF 」 。 (4…
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置
8-60
8-4-5 OCC/HMS 控制
[控制单元] 指定OCC时，可进行OCC控制；指定HMS时可进行HMS传感器控制。
按下 [垂直照明] [角度照明] 的 [ON] [OFF] 按钮，即对OCC进行照明控制。
选择 [HMS] 的「传感器ON」「传感器OFF」时，即对HMS进行传感器控制。
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8-61
8-4-6 单元 1
可对ATC（滑板）、支撑台、安全盖锁定、LNC LED、传送挡块、传送、AWC进行控制。
(1) ATC 的滑板
可进行各 ATC 的滑板「OPEN / CLOSE」控制。
(2) 支撑台
可进行支撑台的「UP / DOWN」控制。
(3) 安全盖锁定
可执行前/后的「安全盖锁定 ON/OFF」。
(4) LNC LED
可以进行 LNC LED 的「ON / OFF」。
(5) 传送挡块
可执行传送挡块的「ON/OFF」。
(6) 传送控制
按下 [基板幅调整] 按钮，即显示基板宽度调整画面。
按下 [传送控制] 按钮时，即显示基板传送主画面。
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8-62
8-4-7 单元 2
可进行MTS托盘控制。
选择 [托盘控制] 的 [速度]，按下 [扩展] 按钮，可按选择的速度拉出托盘。
(1) 托盘段数
指定控制托盘的层数。
(2) 速度
指定托盘拉出时的速度。
(3) 扩展
拉出托盘。