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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-37 3) 卸下与真空泵 连接的空气管子 、电源连接器,松开用来固 定真空泵托架的 内六角螺栓 (M6×2) ,卸下 泵支架。 ●更换密封 圈 1 ) 取下泵头盖 的 4 个(左右合计 共 8 个)内 六角螺栓 (M 6×95) 。 2 ) 取下泵头盖内侧 的黑色密封圈,共 2 个,更换 上新的密封圈 。 ※ 请确认 密封圈完 全放入泵头盖 的密封垫圈槽 内。 3 ) 请用 5.0N ・ m 的…

第 1 部 基本篇
第 3 章 维护
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3)从真空泵拆下气管、成捆电线(电源线),卸下固定 VAC_PUMP_STAY 的六角头铰制孔用螺栓
(M6:13mm 扳手)及六角螺母。
4)将真空泵从主机里取出。
※取出时请注意成捆的电线。
※取出真空泵时,请勿把持连接管。
※取出真空泵时,有真空泵的橡胶脚和 VACUUM_PUMP_BR 粘着的情况。
连接管
电源
VACUUM PUMP STA
VACUUM PUMP BR
气管
六角头铰制孔用螺栓 x2
六角螺母×2

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第 3 章 维护
3-37
3) 卸下与真空泵连接的空气管子、电源连接器,松开用来固定真空泵托架的内六角螺栓(M6×2),卸下
泵支架。
●更换密封圈
1) 取下泵头盖的 4 个(左右合计共 8 个)内六角螺栓(M6×95)。
2) 取下泵头盖内侧的黑色密封圈,共 2 个,更换上新的密封圈。
※请确认密封圈完全放入泵头盖的密封垫圈槽内。
3) 请用 5.0N・m 的力对角拧紧固定泵头盖用的内六角螺栓(M6×95),使其关闭。
※更换其它消耗零件时,请不要关闭盖(罩),参照各部位的更换步骤操作。
●更换 O 环 P-10
1) 用与更换密封圈相同的要领,卸下泵头盖、连接管。
2) 把 O 环 P-10 安装到位于连接泵头盖之间的连接管。
3) 进行更换,插入连接管时请注意不要划伤 O 环。(1 根管内两侧有 2 处)
※更换前,请清扫连接管的 O 环沟、泵头的连接管安装孔。盖(罩)的安装,请按照密封圈的更换
顺序进行操作。在更换其它消耗零件时,请不要关闭盖(罩),参照各部位的更换步骤操作。
泵头盖内侧
O
环
P
-
10
密封圈
连接管
内六角螺栓(M6×95)
泵头盖

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●
吸排气阀的更换
1) 拆下阀挡板。
2) 取出吸排气阀,更换新的吸排气阀。
※盖(罩)的安装,请按照密封圈的更换顺序进行操作。在更换其它消耗零件时,请不要关闭盖(罩),
参照各部位的更换步骤操作。
●更换气缸密封圈
1) 拆下气缸板。
2) 取下气缸密封圈,更换新的气缸密封圈。
※盖(罩)的安装,请按照密封圈的更换顺序进行操作。在更换其它消耗零件时,请不要关闭盖(罩),
参照各部位的更换步骤操作。
阀挡板
吸排气阀
气缸板
气缸密封圈