RS-1使用说明书.pdf - 第777页
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器 设置 8-62 8-4-7 单元 2 可进行 MTS 托 盘控制。 选择 [ 托盘控 制 ] 的 [ 速 度 ] ，按下 [ 扩 展 ] 按钮， 可按选择的 速度拉出托盘 。 (1) 托盘段数 指定控制托盘 的层数 。 (2) 速度 指定托盘拉出 时的速 度。 (3) 扩展 拉出托盘。
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置
8-61
8-4-6 单元 1
可对ATC（滑板）、支撑台、安全盖锁定、LNC LED、传送挡块、传送、AWC进行控制。
(1) ATC 的滑板
可进行各 ATC 的滑板「OPEN / CLOSE」控制。
(2) 支撑台
可进行支撑台的「UP / DOWN」控制。
(3) 安全盖锁定
可执行前/后的「安全盖锁定 ON/OFF」。
(4) LNC LED
可以进行 LNC LED 的「ON / OFF」。
(5) 传送挡块
可执行传送挡块的「ON/OFF」。
(6) 传送控制
按下 [基板幅调整] 按钮，即显示基板宽度调整画面。
按下 [传送控制] 按钮时，即显示基板传送主画面。
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置
8-62
8-4-7 单元 2
可进行MTS托盘控制。
选择 [托盘控制] 的 [速度]，按下 [扩展] 按钮，可按选择的速度拉出托盘。
(1) 托盘段数
指定控制托盘的层数。
(2) 速度
指定托盘拉出时的速度。
(3) 扩展
拉出托盘。
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-1
9
9-1 概要
手动控制，是指为确认各部位的运行，或检查传感器 ON/OFF（开，关）的项目。
使用的主要功能有：基板的准备(请参见「2-7-1 基板的设置」)，Head 的移动，激光的确认等。
还可检查 LED 是否发生故障(一边使其点亮、灭灯，一边进行检查)。
1
Head
1 Head 控制
以各 Head 为基准的 XY 轴移动控制，坐标显示。
各 Head 的 Z，θ，ZA 轴移动控制，坐标显示
各 Head 的真空控制，吹气控制，压力值显示
2 Head 设备控制
以各 Head 装置(OCC，坏板标记传感器，HMS)
为基准的 XY 轴移动控制，坐标显示
各 Head 装置的控制，传感器状态显示
3 激光／传感器控制
各 Head 的真空控制，真空开／关显示
各 Head 的 Z 轴移动控制，坐标显示
算法切换，结果显示，
图像显示边缘检查，边缘检查显示
2
传送系 1 传送控制
基板传送，自动调整基板宽度，传送马达控制，
支撑台控制，信号的状态显示
3
供应设备
1 电动送料器
返回原点，正转（反转）1 间距传送，任意量传送，
正转（反转）步进动作，属性设定，切割控制
2
MTS 控制
托盘控制，状态显示
3
MTC 控制
托盘控制，状态显示
4
其他
1
ATC 控制
ATC 滑板控制，传感器状态显示，吸嘴吸取控制
2 信号灯控制
信号灯控制，警报器控制，状态显示
3
其他控制
LED 控制，真空控制，状态显示，真空泵控制
4 其它传感器 气压降低传感器等的状态显示
5 驱动器状况 X，Y，Z，θ 轴驱动器的状态显示
6 伺服状态 伺服状态显示
7 元件验证控制 探针控制，元件计测，状态显示
8 切割控制 切割控制
9 VCS 控制 VCS 控制