RS-1使用说明书.pdf - 第129页
第 1 部 基本篇 第 2 章 生产 2-23 2-7-1-1 传送部的构成 · 传送部的构成 ( 单通道 ) <基板传送 装置各部 分的名称> 1 IN 传感器 9 传送电磁阀 17 支撑销检出传感 器受光 2 OUT 传感器 10 传送马达 18 挡块传感器 3 WAIT 传感器光缆受光 11 驱动轴 19 挡块 4 WAIT 传感器光缆发光 12 侧梁 20 ( W AIT2 传感器 光缆受光 ) 5 C_OUT 传感器光缆受光 …

第 1 部 基本篇 第 2 章 生产
2-22
2-7 生产准备
2-7-1 设置基板
< >
下面说明在「生产」的准备画面*1 上,进行各项设置的方法。
在以后的说明中除特别注明之外,一般指的是生产已经启动的状态。
*1 生产的支援准备画面具备的功能:从生产的菜单选择[生产辅助]-[支援准备],在生产画面中选择菜
单操作,即可对生产准备阶段进行检查和调整,提高操作效率。
有关基板传送的详细说明,请参见「4-5-2-5 基板控制」。
有关支援准备的详细说明,请参见「2-12-1 支援准备」。
(注意)启动「生产」需要读入生产程序。

第 1 部 基本篇 第 2 章 生产
2-23
2-7-1-1 传送部的构成
· 传送部的构成 (单通道)
<基板传送装置各部分的名称>
1 IN 传感器 9 传送电磁阀 17 支撑销检出传感器受光
2 OUT 传感器 10 传送马达 18 挡块传感器
3 WAIT 传感器光缆受光 11 驱动轴 19 挡块
4 WAIT 传感器光缆发光 12 侧梁 20 (WAIT2 传感器光缆受光)
5 C_OUT 传感器光缆受光 13 支撑台 IN 21 (WAIT2 传感器光缆发光)
6 C_OUT 传感器光缆发光 14 支撑台 OUT 22 (WAIT2 传感器光缆受光)
7 PWB 导轨 15 自动调整宽度马达 23 (WAIT2 传感器光缆发光)
8 支撑台原点传感器 16 支撑销检出传感器发光
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基板传送方向
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第 1 部 基本篇 第 2 章 生产
2-24
<基板传送装置构造概要>
传送限动器的安装位置是,当传送方向为左→右时安装在右侧,传送方向为右→左时安装在左侧。
使用传送限动器时,下游(OUT)侧在基板前端接触到传送限动器的位置上基板被夹紧。
1) 基板传入,IN 传感器①检测出基板时,传送马达⑩会驱动驱动轴⑪,通过传送带开始传送。
并且,限动器⑲同时变为 ON。
2) 当基板到达限动器⑲时,被 STOP 传感器⑱检测到,支承台⑬⑭上升。此时,通过限动器⑲、支
承销将基板的外形进行固定。临时固定完成后,限动器⑲OFF,完成基板固定。
3) 固定后,下一基板相同地运入,在 WAIT 传感器③的位置上待机。
4) 生产结束后解除固定,开始传出。
5) 最早的基板通过 C・ OUT 传感器⑤后,限动器⑲再次变为 ON,进行下一基板的固定准备。