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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-25 清扫部位 3-2-16 负载控制单元 ( 选购项 ) 实施频度：每月 清扫内容 清扫负载测量面的灰尘 、异物 使用工具：抹布 1) 检查负 载测量面上是否 有灰尘等异物 ，如果有异物 请进行清扫。 清扫部位 3-2-17 CV S （选购项） 实施频度：每周 清扫内容 灰 尘、异物的清扫 使用 工具：抹布 推荐溶剂： IPA 1) 如果接 触面的上面附着 有灰尘、异物 等，请用布沾 酒精擦…
第 1 部 基本篇
第 3 章 维护
3-24
清扫部位
3
-
2
-
15
切带刀刃
实施频度：每 6 个月
清扫内容 清扫切带刀刃的脏污 使用工具：绘画笔、六角扳手 使用润滑油：6459 润滑油
1) 作业前，请关闭装置的电源。
2) 请戴上防割手套，用棉纱等清扫刀刃。
(请涂抹酒精，擦掉老化的润滑油。)
切割机装置
切割机保洁和润滑脂涂敷部位
切带刀刃暴露，切勿用手触摸。
可动刀
刃
固定刀
刃
保洁
第 1 部 基本篇
第 3 章 维护
3-25
清扫部位
3-2-16 负载控制单元(选购项)
实施频度：每月
清扫内容 清扫负载测量面的灰尘、异物 使用工具：抹布
1) 检查负载测量面上是否有灰尘等异物，如果有异物请进行清扫。
清扫部位
3-2-17 CVS（选购项）
实施频度：每周
清扫内容 灰尘、异物的清扫 使用工具：抹布 推荐溶剂：IPA
1) 如果接触面的上面附着有灰尘、异物等，请用布沾酒精擦拭。
上面附着有灰尘等物，可能会造成无法正常检查元件。
2) 接触面的狭缝周围掉入元件等异物时，请用镊子等工具将其取出。
如果掉入异物，可能会造成无法正常检查元件。
取出异物时，请注意避免碰伤接触面的捆束带。
狭缝
捆束带
接触
面
负载控制单元
（
装载模块
）
负载测量面
第 1 部 基本篇
第 3 章 维护
3-26
清扫部位
3-2-18 共面性传感器(选购项)
实施频度：每天
清扫内容 清扫过滤器单元的灰尘、异物 使用工具：抹布
1) 用干净的干布或纱布擦拭过滤器单元（投射光窗口／接收光窗口）的脏污。
接收
光
窗
口
投
射
光
窗
口