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第 2 部功能详解篇第 11 章自己诊断功能 11-20 设定 Head 移动到真空校准上面，计测真空到达状况 3 次。设定 Head 移动到真空校准上面，计测自然破坏状况 3 次。・显示第 2 次和第 3 次的平均值。・计测后显示的压力值图表，是第 3 次的数据。・请按下［确认］。

第 2 部功能详解篇第 11 章自己诊断功能

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(2) 设定方法

1) Head 选择

默认为“F-连续测量”，“R-连续测量”，无法选择 Head，

但通过取消在“F-连续测量”、“R-连续测量”的勾选，或选择设备、取消对连续测量的勾选，

即可选择 Head。

选择计测对象装置后，在设定 Head 组中的复选框里选择要计测的 Head。

可同时选择多个计测对象 Head（但是，在机器设置的使用单元设定为“未使用”的 Head 不

能选择）。

2) 操作

按指示进行操作即可自动取得数值。

(3) 计测顺序

设定 Head 在真空校准上移动，计测真空到达状况 3 次。

・显示第 2 次和第 3 次的平均值。

・测量后显示的压力值图表，是第 3 次的数据。

・请按下［确认］。

第 2 部功能详解篇第 11 章自己诊断功能

11-20

设定 Head 移动到真空校准上面，计测真空到达状况 3 次。

设定 Head 移动到真空校准上面，计测自然破坏状况 3 次。

・显示第 2 次和第 3 次的平均值。

・计测后显示的压力值图表，是第 3 次的数据。

・请按下［确认］。

第 2 部功能详解篇第 11 章自己诊断功能

11-21

设定 Head 移动到真空校准上面，计测加压破坏状况 3 次。

・显示第 2 次和第 3 次的平均值。

・计测后显示的压力值图表，是第 3 次的数据。

・请按下［确认］。