RS-1使用说明书.pdf - 第778页
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制 9-1 9 9-1 概要 手动控制， 是指为确 认各部位的运行，或 检查传感器 ON /O FF （开，关 ）的项目。 使用的主要 功能有：基板 的准备 ( 请参 见「 2-7-1 基板 的设置」 ) ， Head 的移动，激光 的确认 等。 还可检查 LED 是否发生故障 ( 一边 使其点亮、灭 灯，一边进行检 查 ) 。 1 Head 1 Head 控 制 以各 Head 为基准的 XY…
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置
8-62
8-4-7 单元 2
可进行MTS托盘控制。
选择 [托盘控制] 的 [速度]，按下 [扩展] 按钮，可按选择的速度拉出托盘。
(1) 托盘段数
指定控制托盘的层数。
(2) 速度
指定托盘拉出时的速度。
(3) 扩展
拉出托盘。
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-1
9
9-1 概要
手动控制，是指为确认各部位的运行，或检查传感器 ON/OFF（开，关）的项目。
使用的主要功能有：基板的准备(请参见「2-7-1 基板的设置」)，Head 的移动，激光的确认等。
还可检查 LED 是否发生故障(一边使其点亮、灭灯，一边进行检查)。
1
Head
1 Head 控制
以各 Head 为基准的 XY 轴移动控制，坐标显示。
各 Head 的 Z，θ，ZA 轴移动控制，坐标显示
各 Head 的真空控制，吹气控制，压力值显示
2 Head 设备控制
以各 Head 装置(OCC，坏板标记传感器，HMS)
为基准的 XY 轴移动控制，坐标显示
各 Head 装置的控制，传感器状态显示
3 激光／传感器控制
各 Head 的真空控制，真空开／关显示
各 Head 的 Z 轴移动控制，坐标显示
算法切换，结果显示，
图像显示边缘检查，边缘检查显示
2
传送系 1 传送控制
基板传送，自动调整基板宽度，传送马达控制，
支撑台控制，信号的状态显示
3
供应设备
1 电动送料器
返回原点，正转（反转）1 间距传送，任意量传送，
正转（反转）步进动作，属性设定，切割控制
2
MTS 控制
托盘控制，状态显示
3
MTC 控制
托盘控制，状态显示
4
其他
1
ATC 控制
ATC 滑板控制，传感器状态显示，吸嘴吸取控制
2 信号灯控制
信号灯控制，警报器控制，状态显示
3
其他控制
LED 控制，真空控制，状态显示，真空泵控制
4 其它传感器 气压降低传感器等的状态显示
5 驱动器状况 X，Y，Z，θ 轴驱动器的状态显示
6 伺服状态 伺服状态显示
7 元件验证控制 探针控制，元件计测，状态显示
8 切割控制 切割控制
9 VCS 控制 VCS 控制
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-2
9-2 手动控制的启动与退出
9-2-1 启动手动控制
从菜单选择[维护]→[手动控制]，即可显示如下的手动控制初始画面。
9-2-2 退出手动控制
在信息区域选择[退出]，或按下画面右上的关闭按钮[×]，即可退出手动控制。
「是」：执行 I/O 安全方向设定之后退出。例如，Head 有吸嘴时，应把吸嘴返回 ATC 后
再退出手动控制画面。
「否」：返回手动控制画面
选择「确定」后，轴会移动并开始执行各 I/O 的安全方向设置。
在选择「确定」前，请务必确认无人在进行装置内部的作业。此外，为了
防止人身伤害，在运行过程中，切勿将手放入装置内部，也不要将脸和头
靠近装置。