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第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要 1-9 ◆ 打开安全盖 (安全罩 ) 时, 先把盖 (罩) 子推上去, 再 把锁杆向 箭头 ( LO CK ) 方 向推, 锁好。 确认上了锁之后, 再放开手。 ◆ 要关安全盖 (安全罩) 时,要先解开锁 ,再关闭 。 把安全盖( 安全罩)向上 提, 再把锁杆 向 OPEN 方向推,解锁 。 (请注意,解锁时 要防止安全盖(安全罩) 落下来受伤 。 ) ◆ 维护 A TC 或 XY 、 Head…

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1 基本篇 1 装置概要
1-8
1-1-6 本装置的构成
ATC
单元
基板传送单元
CAL
块单元
负载控制单元
(OP)
LNC120
Head
单元
VCS
单元
供料器台架单元
共面性单元
(OP)
Head 单元
8
贴片头
X-Y HMS 单元
OCC
单元
(L)
CVS
单元
(OP)
废弃盒
前侧液晶监视 迷你信号灯(选购项) 后侧液晶监视
操作面板 空气调节器(护盖(罩)内侧) 前部编带套件单元
Rev.D
电源开关 真空泵(装置内左侧) 后部编带套件单元
(选购项) Rev.D 以后
信号灯 漏电断路器(后-右侧)
1 基本篇 1 装置概要
1-9
打开安全盖(安全罩时,先把盖(罩)
子推上去,把锁杆向箭头LOCK
向推,锁好。确认上了锁之后,再放开手。
要关安全盖(安全罩)时,要先解开锁,再关闭
把安全盖(安全罩)向上提,
再把锁杆 OPEN 方向推,解锁
(请注意,解锁时要防止安全盖(安全罩)落下来受伤
维护 ATC XYHead 时,
进入装置内部作业时,请特别注意不要从后面
撞到安全盖(安全罩)或监视器,不要撞到头,
作业时不要受伤
OPEN
LOCK
1 基本篇 1 装置概要
1-10
1-2 本装置的构造
1-2-1 基板传送部分的构造
基板传送部的构 (单通道)
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基板传送方向
1 IN 传感器 9 传送电磁阀
17 支撑销检出传感器受光
2 OUT 传感器 10 传送马达
18 挡块传感器
3 WAIT 传感器光缆受光 11 驱动轴
19 挡块
4 WAIT 传感器光缆发光 12 侧梁
20 (WAIT2 传感器光缆受光)
5 C_OUT 传感器光缆受光 13 支撑台 IN
21 (WAIT2 传感器光缆发光)
6 C_OUT 传感器光缆发光 14 支撑台 OUT 22 (WAIT2 传感器光缆受光)
7 PWB 导轨 15 自动调整宽度马达 23 (WAIT2 传感器光缆发光)
8 支撑台原点传感器 16 支撑销检出传感器发
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