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第 1 部 基本篇 第 2 章 生产 2- 97 ③ 基准领域标记 可以进行基准领 域 标记 的各 标记 的位置示教。 进行示教时,要 通过功能栏的 示教进行输入。 此时,输入焦点 无论在 XY 任何一方, XY 可同时自动反 映对应值。 通过在标记编号 中输入数字来指 定基准领域标 记的编号。 ④ 基板信息 显示基板的传送 方向、挡块、 设计 端点、 基板位置基准、 BOC 标记。 ⑤ B OC 标记识别 按照设定 的条件进行 BOC…

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(2) 传送通道动作状态
基板搬入
将基板传入进行固定的缓冲区,进行固定
这时固定的位置,会根据设置的设定、基板的外形尺寸而变化。
如果在固定位置上已有基板时,则在传出后再进行传入。
基板搬入(第 2 次 )( 基板安装(2 阶段)
进行第 2 阶段的固定
在固定使用 HMS
搬出基板
将基板从固定位置传出
释放基板
如果基板被固定,则解除固定
重夹
如果基板在固定位置上,则进行重夹动作,固定基板
重夹(2 阶段)
当基片是在夹紧位置时,重夹固定使用 HMS 操作
2-12-1-6 标记数据示教
可显示指定站点(工作站) BOC 标记、基准领域标记,并对其进行确认。
1)操作
电路设置
设置执行识别 BOC 标记、或基准领域标记动作的电路。
只有基准电路可设所有电路、指定电路。
BOC 标记
可以进行 BOC 标记的各标记位置示教。进行示教时,要通过功能栏的示教进行输入。此时,
输入焦点无论在 XY 任何一方,XY 可同时自动反映对应值。
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基准领域标记
可以进行基准领标记的各标记的位置示教。进行示教时,要通过功能栏的示教进行输入。
此时,输入焦点无论在 XY 任何一方,XY 可同时自动反映对应值。
通过在标记编号中输入数字来指定基准领域标记的编号。
基板信息
显示基板的传送方向、挡块、设计端点、基板位置基准、BOC 标记。
BOC 标记识别
按照设定的条件进行 BOC 标记识别动作。
如果标记数据为完成状态,则自动进行标记示教,完成标记数据。
详见「第 4 制作生产程序」的「4-3-3-3 BOC 标记
基准领域标记识别
按照设定的条件进行基准领域标记的识别动作
如果标记数据为准完成状态,则自动进行标记示教,完成标记数据。
详见「第 4 作生产程序」的「4-5-6-2 区域标记
传送控制
进行基板传送控制。
详见「第 9 手动控制」的「9-4-1 传送控制
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2-12-1-7 坏板标记示教
设置使用 OCC 进行坏板标记识别。
详见「第 8 机器设置」的「8-3-6-2 坏板标记示教
2-12-1-8 MTS 标记识别
自动识别 MTS 的标记识别
详情请参见「第 4 制作生产程序」的「4-5-6-3 供料器台架标记」。
2-12-1-9 送料器设置
可显示各供料器台架的供料器布局画面,进行吸取位置的示教、跟踪。
跟踪对象供料器是在吸取跟踪摄像机的跟踪设置面(请参照4-5-6-5 吸取位置/吸取高度」)
的「跟踪顺序和范所设置的供料器
按下操作区域[示教]按钮后,可对选择的对象元的吸取位置进行示教。
按下操作区域的[跟踪]按钮后,可按照输送方法中指定的方法,对选择的供料器台架进行吸取跟踪。