RS-1R使用说明书.pdf - 第331页
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3- 38 3) 从真空 泵拆下气管、 成捆电线 (电源线) , 卸下固定 V AC _PUMP_S T A Y 的 六角 头铰制孔用 螺栓 (M6 : 13mm 扳手 ) 及六角螺母。 4) 将真空 泵从主机里取 出。 ※ 取出时请注 意成捆的电 线。 ※ 取出真空泵 时,请勿把 持连接管。 ※ 取出真空泵 时,有真空 泵的橡胶脚和 V ACUU M_PUMP_BR 粘着的情 况。 连接管 电源 …

第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-37
3-7 定期更换零件更换方法
※ 仅更换切带器的刀刃非常危险。在更换时,由弊公司服务部门或代理店对应。详情请与窗口部门咨
询。
由于损耗,可能造成以下零件压力降低。
<损耗零件一览>
更换零件组件号:40138045
检查部位
使用数量
检查内容
检查方法
碗形密封垫圈 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等现象 目检
气缸密封圈
2
有无变形、硬化、龟裂等
目检
吸排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O
环
S-67
2
有无变形、磨损、硬化、龟裂等
目检
Head 密封圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
检查・更换
3-7-3 手写笔与长挂钩的更换
●真空泵的更换准备
1) 确认真空泵没有运转。(刚停止运转后泵内部会很热,请停止后放置 30 分钟左右,确认泵冷却之
后再开始作业。)
2) 请拆下机器主机前侧右下部的安全盖(安全罩)。
检查・更换
3-7-1 切带单元的更换
使用工具 :
六角扳手、螺丝刀
更换周期 :1 年
检查・更换
3-7-2 真空泵零件的更换
使用工具 :
六角扳手、螺丝刀
更换周期 :1 年
安全盖(螺钉×4)

第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-38
3) 从真空泵拆下气管、成捆电线(电源线),卸下固定 VAC_PUMP_STAY 的六角头铰制孔用螺栓(M6:
13mm 扳手)及六角螺母。
4) 将真空泵从主机里取出。
※ 取出时请注意成捆的电线。
※ 取出真空泵时,请勿把持连接管。
※ 取出真空泵时,有真空泵的橡胶脚和 VACUUM_PUMP_BR 粘着的情况。
连接管
电源
VACUUM PUMP STA
VACUUM PUMP BR
气管
六角头铰制孔用螺栓 x2
六角螺母×2

第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-39
●更换密封圈
1) 取下泵头盖的 4 个(左右合计共 8 个)内六角螺栓(M6×95)。
2) 取下泵头盖内侧的黑色密封圈,共 2 个,更换上新的密封圈。
※请确认密封圈完全放入泵头盖的密封垫圈槽内。
3) 请用 5.0N・m 的力对角拧紧固定泵头盖用的内六角螺栓(M6×95),使其关闭。
※更换其它消耗零件时,请不要关闭盖(罩),参照各部位的更换步骤操作。
●更换 O 环 P-10
1) 用与更换密封圈相同的要领,卸下泵头盖、连接管。
2) 把 O 环 P-10 安装到位于连接泵头盖之间的连接管。
3) 进行更换,插入连接管时请注意不要划伤 O 环。(1 根管内两侧有 2 处)
※ 更换前,请清扫连接管的 O 环沟、泵头的连接管安装孔。盖(罩)的安装,请按照密封圈的更换
顺序进行操作。在更换其它消耗零件时,请不要关闭盖(罩),参照各部位的更换步骤操作。
泵头盖内侧
O
环
P-10
密封圈
连接管
内六角螺栓(M6×95)
泵头盖