RS-1R使用说明书.pdf - 第771页
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置 8- 62 8-4-5 OCC/HMS 控制 [ 控制单元 ] 指定 OCC 时，可进行 OCC 控 制；指定 HMS 时可进行 HMS 传感器控制。 按下 [ 垂直照明 ] [ 角度照明 ] [ 外圈照明 ] 的 [ON] [OFF] 按 钮， 即对 OCC 进行照明 控制。 仅外圈照明 设定为有效 时可以选择 。 选择 [HMS] 的「传 感器 ON 」「传感器 OFF 」 时，即对 H…
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置
8-61
8-4-4 空气控制
[控制单元] 指定Head，可进行吹气、真空控制。
按下 [吹气]、[真空] 的 [ON] [OFF] 按钮，进行控制单元中选择的Head的吹气控制、真空控制。
吹气控制、真空控制不能对相同Head同时设置ON。
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8-62
8-4-5 OCC/HMS 控制
[控制单元] 指定OCC时，可进行OCC控制；指定HMS时可进行HMS传感器控制。
按下 [垂直照明] [角度照明] [外圈照明]的 [ON] [OFF] 按钮，即对OCC进行照明控制。仅外圈照明
设定为有效时可以选择。
选择 [HMS] 的「传感器ON」「传感器OFF」时，即对HMS进行传感器控制。
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8-4-6 单元 1
可对ATC（滑板）、支撑台、安全盖锁定、LNC LED、传送挡块、传送、AWC进行控制。
(1) ATC 的滑板
可进行各 ATC 的滑板「OPEN / CLOSE」控制。
(2) 支撑台
可进行支撑台的「UP / DOWN」控制。
(3) 安全盖锁定
可执行前/后的「安全盖锁定 ON/OFF」。
(4) LNC LED
可以进行 LNC LED 的「ON / OFF」。
(5) 传送挡块
可执行传送挡块的「ON/OFF」。
(6) 传送控制
按下 [基板幅调整] 按钮，即显示基板宽度调整画面。
按下 [传送控制] 按钮时，即显示基板传送主画面。