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第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制 9- 41 (4) 控制 项目 用单选按钮选择 控制项目,用 控制按钮进行控制 。 各项照明控制, 按 [ON] , [OFF] , [ON/OFF ] 按钮 进行控制。 1) 透射照明控制 控制透射 照明的 ON /OFF 。 2) 侧面照明控制 控制侧面 照明的 ON /OFF 。 3) 下方照明控制 控制下方 照明的 ON /OFF 。 4) 同轴照射照明控 制 控制同轴 照射照明的 …

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2 功能详解篇 9 手动控制
9-40
9-6-9 VCS 控制
选择菜单[图像][VCS 控制],即可显示 VCS 控制对话框
用装置选择按钮可切换到任意台架的单元控制
(1) 状态
各单元的状态,在控制完成时显示
(2) 控制单元
用单选按钮选择控制对象单元。
MS 参数中没有设定的单元不能选择。对机器设置[使用单元]里的设定,没有影响。
(3) 照明类型
用单选按钮选择照明类型。照明类型不同,控制的照明种类、光量不同。
2 功能详解篇 9 手动控制
9-41
(4) 控制项目
用单选按钮选择控制项目,用控制按钮进行控制
各项照明控制,[ON][OFF][ON/OFF]按钮进行控制。
1) 透射照明控制
控制透射照明的 ON/OFF
2) 侧面照明控制
控制侧面照明的 ON/OFF
3) 下方照明控制
控制下方照明的 ON/OFF
4) 同轴照射照明控
控制同轴照射照明的 ON/OFF
5) 全照明控制
控制透射照明、侧面照明、下方照明、及同轴照射照明的 ON/OFF
各项照明控制必须设定的项目
a) 光量调整
移动滑动条,设定光量。
b) 透射照明
用复选框设定对象。
c) 侧面照明
用复选框设定对象。
用单选按钮,选择照明颜色。
d) 下方照明控制
用复选框设定对象。
6) 极性控制
控制极性的正/反。
[][][/]按钮进行控制。
7) 照明装置位置
使照明装置向左侧或右侧移动。按下[Right][LEFT][Right/LEFT]按钮进行控制。
如在 MS 参数中未设置
2 VCS,则不能选择照明装置位置
8) 照明上下位置
使照明装置向上位置移动。按下[][][/]按钮进行控制。
9-6-10 简易控制
[简易控制]按钮,即可从操作区移动各轴。
请参见「第 8 机器设置」的「8-4 简易控制」项。
2 功能详解 10 设备运行信息
10-1
10
设备运行信息
10-1 概要
显示机器的运行时间(基板生产时间的累计等)吸嘴拆装次数等设备固有的运行信息。
10-2 启动与退
10-2-1 启动
从主画面的操作菜单选择[准备调整][设备运行信息]进行启动。
从本地菜单选择[机器],启动任意的运行信息画面。
10-2-2 退出
按下画面右上的关闭按钮[×],或按信息区域的退出按钮,即可退出装置运行信息。
10-3 机器
10-3-1 机器运行信息
(1) 时间
从主菜单选择[机器]-[机器运行信息], 或在机运行信息画面里选择[时间]项卡,即会出现
机器运行信息(时间)画面,显示下表的项目。
按下[重新设置]按钮为清除运行信息。详细内容在小项目中作介绍。
※与以往的机型不同,没有附带计算接通电源时间的外部机器(计时(Hour Meter))。因此,即
使按下[重置(Reset)]按钮也不会清除电源 ON 时间。由于运转准备时间,是以电源 ON 时间为基准计
算的,因此与其他运转时间不同,即使被[重置]也会显示时间。