RS-1R使用说明书.pdf - 第789页
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制 9- 16 9-4-1- 1 控制对象:基板传送 按下 [ 基板 传送 ] 按钮, 即可 显示如 下画面。 (1) 状态 马达 / 传感器 的 状态,用 ON/OFF 显示 。 (2) 控制 项目 用单选按钮选择 控制项目。 按 [ 执行 ] 按钮后,即开始按 选择 的控 制执行。 1) 初始化 将基板传送进行 初始化。 2) 基板 搬入 按基板停止 方式指定的方式 搬入 基板。 基板 尺寸…

第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-15
用画面中央的按下式按钮,可选择控制对象。
后面将详细说明。参见 9-4-1-1 控制对象:基板传送以后的章节。
No.
显示项目
显示图
显示内容
1
支撑台挡块
支撑台挡块处于
OFF
状态。
支撑台挡块处于 ON 状态。
2
支撑台原点传感器
支撑台原点传感器处于
OFF
状态。
支撑台原点传感器处于 ON 状态。
3
IN
缓冲选择器・
OUT 缓冲选择器
IN/OUT
缓冲选择器处于
OFF
状态。
IN/OUT 缓冲选择器处于 ON 状态。
4
准备搬入(
Ready In
)
准备搬出(Ready Out)
Ready In/ Out
处于
OFF
状态。
Ready In/ Out 处于 ON 状态。
5
可以搬入基板
(Board available In)·
可以搬出基板
(Board available Out)
Board
available In/Out
处于
OFF
状态。
Board available In/Out 处于 ON 状态。
6
传送挡块
传送挡块处于
OFF
状态。
传送挡块处于 ON 状态。

第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-16
9-4-1-1 控制对象:基板传送
按下[基板传送]按钮,即可显示如下画面。
(1) 状态
马达/传感器的状态,用 ON/OFF 显示。
(2) 控制项目
用单选按钮选择控制项目。
按[执行]按钮后,即开始按选择的控制执行。
1) 初始化
将基板传送进行初始化。
2) 基板搬入
按基板停止方式指定的方式搬入基板。
基板尺寸 X 对应长尺寸基板时,可以从下面的「夹紧位置」选择装载的位置。
3) 基板搬出
搬出基板。
4) 基板固定解除
释放基板。
5) 基板重夹
用基板停止方式中指定的方式对传送通道上的基板进行重夹。
基板尺寸 X 对应长尺寸基板时,可以从下面的「夹紧位置」选择重夹的位置。
6) 2 段夹紧
将基板安装到长尺寸基板第二段夹紧位置。
XL 规格不能使用。

第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-17
9-4-1-2 控制对象:自动调整基板宽度
按下[自动调整基板宽度]按钮,即可显示以下画面。
・ 自动基板宽度调整
(1) 状态
显示各种传感器、基板搬送宽度的状态。
(2) 控制项目
用单选按钮选择控制项目。
按[执行]按钮后,开始进行与选择项目对应的控制。
1) 返回原点
自动调整基板宽度返回原点。
2) 变更幅度
按照“基板幅度”编辑框中输入的值,变更搬送宽度。
3) 传感器调谐
执行传感器的调谐。
※ 仅附带需要调谐的传送传感器时进行显示。通常情况下,自动执行调谐动作。