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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3- 26 清扫部位 3-2- 18 共面性传感器 ( 选购项 ) 实施频度：每天 清扫内容 清扫过滤器单元的灰尘 、异物 使用工具：抹布 1) 用干净的 干布或纱布 擦拭过滤器 单元（投射光窗口 ／接收光 窗口 ）的脏污。 接收光窗口 投射光窗口
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-25
清扫部位
3-2-16 负载控制单元(选购项)
实施频度：每月
清扫内容 清扫负载测量面的灰尘、异物 使用工具：抹布
1) 检查负载测量面上是否有灰尘等异物，如果有异物请进行清扫。
清扫部位
3-2-17 CVS（选购项）
实施频度：每周
清扫内容 灰尘、异物的清扫 使用工具：抹布 推荐溶剂：IPA
1) 如果接触面的上面附着有灰尘、异物等，请用布沾酒精擦拭。
上面附着有灰尘等物，可能会造成无法正常检查元件。
2) 接触面的狭缝周围掉入元件等异物时，请用镊子等工具将其取出。
如果掉入异物，可能会造成无法正常检查元件。
取出异物时，请注意避免碰伤接触面的捆束带。
狭缝
捆束带
接触面
负载控制单元（装载模块）
负载测量面
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-26
清扫部位
3-2-18 共面性传感器(选购项)
实施频度：每天
清扫内容 清扫过滤器单元的灰尘、异物 使用工具：抹布
1) 用干净的干布或纱布擦拭过滤器单元（投射光窗口／接收光窗口）的脏污。
接收光窗口
投射光窗口
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-27
3-3 注油
1) 用注油枪从 XY 轴直动单元的润滑油注油孔注入润滑油。
使用润滑脂枪/注油嘴
40127626 GREASE_GUN
40127627 GREASE_GUN_NOZZLE
※ 于注油嘴，请把上述润滑脂枪上标准配备的注油嘴更换为
40127627 GREASE_GUN_NOZZLE 后使用。
危险
为防止突然起动造成事故，请切断电源后，再进行维护作业。
注意
LM 导轨和滚珠丝杠的润滑油是不同的。请不要混合使用。
注油项目
3-3-1 XY
轴直动单元
实施频度
：每
6
个月
使用工具
：注油枪
使用润滑油
：
6459
润滑油
N
注油位置
XY
轴直动单元
Y 轴直动单元轨道 上下前后 4 处
※注油位置
圆圈部位
LM
导轨 润滑油注油孔
X 轴直动单元轨道 上下左右 4 处