JM-50使用说明书.pdf - 第275页
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-6 1) 请目 检确认 Head 单元正面 部位过滤器箱内的「空 气过滤器① 」没有脏污。 2) 请通过「过滤器脏污 检查」确认 没有问题。 检查过滤器脏污 「使用 说明书 10-3-3- 2 检查过滤器 脏污 」 执行结果若有问 题，会显示提示，敦促更 换。 3) 如果 有脏污， 请更换新 的过滤器。 1) 把过滤器箱 的「固定 螺丝② 」（ 左右 2 处） 拧松，取下「 过滤器箱 U ① 」…
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3-5
1) 请确认没有漏气。
1) 接通主机的电源后，请选择「手动控制」项目，检查下列各项目的动作状况。
① 基板挡块部
② ATC 单元
手动控制 「操作说明书 第 8 章 手动控制」
此功能用于确认各项动作、检查传感器的开／关。
检查项目
3-1-3 管道及接头
实施频度 ：每周
检查内容 检查气压管道部分是否漏气
检查项目
3-1-4 各单元气缸
实施频度 ：每周
检查内容 检查各气缸的动作
选择功能栏的「手动控制」
启动功能。
＜左侧内侧＞
检查漏气
指状阀
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3-6
1) 请目检确认 Head 单元正面部位过滤器箱内的「空气过滤器①」没有脏污。
2) 请通过「过滤器脏污检查」确认没有问题。
检查过滤器脏污
「使用说明书 10-3-3-2 检查过滤器脏污」
执行结果若有问题，会显示提示，敦促更换。
3) 如果有脏污，请更换新的过滤器。
1) 把过滤器箱的「固定螺丝②」（ 左右 2 处）拧松，取下「过滤器箱 U①」。
*①③形状因序号而异。
2) 检查「过滤器③」有无脏污。
3) 若有脏污，请把「过滤器箱 L④」中的「过滤器③」更换下来。
*当过滤器顶部有突起时 件号：E3052729000
4) 把「过滤器③」插入「过滤器箱 L④」， 要 插 紧，用「 固 定 螺 丝 ②」固定好。（紧固力矩：0.7 N·m）
此时，请确认「O 环 F2⑤」是否正好套进「过滤器箱 L④」的沟里。
5) 重新取得无吸嘴状态下的真空值。
6)
检查项目
3-1-5 空气过滤器（LNC120-8 Head）
实施频度 ：每月
检查内容 检查空气过滤器脏污
更换 更换 Head 空气过滤器 使用工具 ：螺丝刀 更换标准： 6 个月
有突起。
过滤器③ 件号：E3052729000
①
④
②
③
①
过滤器③ 件号：
40046646
②
①
③
④
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3-7
1) 关闭主机的空气源。
2) 拆下连接到电磁阀的电缆。
3) 拆下防脱落金属配件，更换大气开放用过滤器（件号：40218794 FILTER）。
4) 装配请按相反的步骤进行。
更换 更换大气开放用过滤器 更换标准： 6 个月
大气开放用过滤器
件号：40218794 FILTER
（防脱落金属和盆头螺钉：4 个）