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第 2 部 功能详解篇 第 7 章 机器设置 7- 62 7-4- 5 OCC/HMS 控制 [ 控制单元 ] 指定 OCC 时,可进行 OCC 控制;指定 HMS 时可进行 HMS 传感器控制。 按下 [ 垂直照明 ] [ 角度照明 ] [ 外圈照明 ] 的 [ ON] [OF F] 按钮,即对 OC C 进行照明控制。仅外圈照明 设置为有效 时可以进行选择 。 选择 [H MS] 的 「传感器 ON 」「传感 器 OFF 」时,即对…

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2 功能详解篇 7 机器设置
7-61
7-4-4 空气控制
[控制单元] 指定Head,可进行吹气、真空控制
按下 [吹气][真空] [ON] [OFF] 按钮,进行控制单元中选择的Head的吹气控制、真空控制。
吹气控制、真空控制不能对相同Head同时设置ON
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7-62
7-4-5 OCC/HMS 控制
[控制单元] 指定OCC时,可进行OCC控制;指定HMS时可进行HMS传感器控制。
按下 [垂直照明] [角度照明] [外圈照明] [ON] [OFF] 按钮,即对OCC进行照明控制。仅外圈照明
设置为有效时可以进行选择
选择 [HMS] 「传感器ON」「传感OFF」时,即对HMS进行传感器控制。
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7-63
7-4-6 单元 1
可对ATC(滑板)、支撑台、安全盖锁定、LNC LED传送挡块、传送、AWC进行控制。
(1) ATC 的滑板
可进行各 ATC 的滑板「OPEN / CLOSE控制
(2) 支撑台
可进行支撑台的UP / DOWN」控制。
(3) 安全盖锁定
可执行前/后的「安全盖锁定 ON/OFF」。
(4) LNC LED
可以进行 LNC LED 的「ON / OFF」。
(5) 传送挡块
3 马达规格时可执行传送挡块的「ON/OFF」。
(6) 传送控制
按下 [基板幅调整] 按钮,即显示基板宽度调整画面。
按下 [传送控制] 按钮时,即显示基板传送主画面。