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第 2 部 功能详解篇 第 8 章 手动控制 8- 21 8-4-1- 5 控制对象:信号 按下 [ 信号 ] 按钮, 即可以下 的画面。 (1) 状态 显示 传感器 的 状态 。 (2) 控制 项目 用单选按钮选择 控制项目 。 (3) [ON]/[OFF ]/[ON/OFF] 按钮 使选择的 控制项目信号,进 入 ON/OFF 状态 。

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2 功能详解篇 8 手动控制
8-20
8-4-1-4 控制对象:支撑台
按下[支撑]按钮,即可显示以下画面。
(1) 状态
显示支撑台上升传感器、支撑台下降传感器的状态,以及支撑台上/下降时的所需时间。
(2) 控制项目
用单选按钮选择控制项目
按下控制按钮后,即开始进行与被选择项目对应的控制。
1) 高速
使支撑台上下的速度为高速。
[]按钮、[]按钮、[/]按钮对支撑台进行控制
2) 低速
使支撑台上下的速度为低速。
[]按钮、[]按钮、[/]按钮对支撑台进行控制。
3) 夹紧速度
使支撑台上下的速度与生产时的基板夹紧/解除夹紧时的速度相同。
[]按钮、[]按钮、[/]钮对支撑台行控制
2 功能详解篇 8 手动控制
8-21
8-4-1-5 控制对象:信号
按下[信号]按钮,即可以下的画面。
(1) 状态
显示传感器状态
(2) 控制项目
用单选按钮选择控制项目
(3) [ON]/[OFF]/[ON/OFF]按钮
使选择的控制项目信号,进 ON/OFF 状态
2 功能详解篇 8 手动控制
8-22
8-4-1-6 控制对象:传送挡块
按下[传送挡块]按钮,即显示以下画面。
传送挡块
(1) 控制项目
通过单选按钮选择控制项目。
(2) [ON]/[OFF]/[ON/OFF]按钮
[ON]按钮[OFF]按钮、[ON/OFF]按钮控制选择的传送挡块的 ON/OFF